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【適用事例】半導体製造装置 金属セラミックス複合材料『MMC』
PR複合材料MMCの接合技術により、新たな用途への展開が可能になりました。
MMC同士を接合することで中空構造体の製造が可能になりました。接合技術で形成された内部流路に冷媒やガスを流すことが可能です。高熱伝導、低熱膨張を特長とするMMCは、温度による熱変形が少なく、組み込まれる部品への悪影響を防ぎます。 <冷却ジャケットへの適用> アルミナESCとの熱膨張差低減によるアーキング防止、高熱伝導、低熱膨張によるエッチングレート向上 <ウエハチャックへの適用> ...
メーカー・取り扱い企業: 日本ファインセラミックス株式会社
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ガス加熱用高効率ヒータ『ヒートエクスチェンジャーWEX SS』
PR小型・軽量で高効率!手のひらサイズ以下の超小型ガス加熱用ヒータをご紹介
ワッティーが提供する『ヒートエクスチェンジャーWEX SS』は、 280g軽量かつ、手のひらサイズ以下の超小型ガス加熱用ヒータです。 低流量1~5L/min 250℃対応。 K熱電対、サーモスタット、外装用断熱材を標準装備しております。 【特長】 ■280g軽量かつ、手のひらサイズ以下の超小型ガス加熱用ヒータ ■低流量1~5L/min 250℃対応 ■K熱電対、サーモスタ...
メーカー・取り扱い企業: ワッティー株式会社
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ストロークが長く汎用性あり!外形50mm×30mmの角型のエアチャック
『NPC-2SS-210』は、ウェッジ方式の角型エアチャックです。 外形50mm×30mmの角型タイプ。 少ないスペースに多数個並べて使用できます。 当社のエアチャックは、パーツの一点一点を、丁寧にハ...
メーカー・取り扱い企業: 仲精機株式会社
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チャッキング毎に芯出し不要!搬送用にも便利なエアチャック
『NPC-2SS-25』は、ウェッジ方式の角型エアチャックです。 少ないスペースに多数個並べて組立等に使用可能。 搬送用にも便利です。 当社のエアチャックは、パーツの一点一点を、丁寧にハンドラッピング...
メーカー・取り扱い企業: 仲精機株式会社
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シール、ハンドリング、またはロックが必要な場面でご使用頂けます
テクネティクス・グループ・ジャパン株式会社