SSY-10010　EFEM

EFEM

300mmウェーハをFOUPカセットより取出し、振り分けを行います。 振り分けのパターンは任意に設定でき、お客様の仕様に対応した振り分けが可能です。 振り分け以外にも装置のローダ/アンローダとして使用できます。 水平多軸ロボット(GCR4210-500-AM)を搭載することにより走行軸なしで4カセットにアクセス可能 Z軸ストローク500mmの採用によりカセットを上下2段に配置可能 ロ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SSY-10010プロトスワーク自動移載システム

プロトスケース内の薄物ウェーハを安全、確実に搬送することを実現しました…

プロトス、カセット間をダメージなく自動移載 ベルヌーイチャックを搭載し、薄物ウェーハにも対応 ウェーハとプロトススペーサを自動識別 ワークの高さも自動認識 複数カセット及び各インチサイズにもカスタマイズ対応... 対応カセット 150mmプロトスケース, 150mmカセット 搬送物 150mmシリコンウェーハ, プロトススペーサ（挿間紙） ワークサイズ、プロトス数、カセット数、アライ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル