7/5【セミナー】ドライエッチング：基礎

ドライエッチング技術の基礎とプラズマ・表面反応の制御 ～ドライエッ…

マの基礎 　2.2 ドライエッチングの反応過程 　2.3 異方性エッチングのメカニズム 　2.4 エッチ速度 ３．各種材料のエッチング 　3.1 ゲートエッチング 　3.2 SiO2エッチング 　3.3 配線エッチング 　　 ４．ドライエッチング装置 　4.1 CCPプラズマエッチャー 　4.2 マグネトロンRIE 　4.3 ECRプラズマエッチャー 　4.4...

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