実験・研究開発用途 受託成膜サービス『ALD（原子層堆積）装置』

PRご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜をお手伝い。ライブデモ、パ…

ワッティーでは、ALD装置を使用した『受託成膜サービス』を行っております。 Al2O3、TiO2、ZrO2、HfO2、RuO2、SiO2、TiN等、各種酸化膜・窒化膜の成膜が可能。 成膜可能サイズは小チップからパイプ、フィルム等、300mmの大きさまで対応可能です。 ご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜のお手伝い、お客様立会い によるライブデモや、ご希望のレシピ、パラメータ...

メーカー・取り扱い企業： ワッティー株式会社

HTRH 汎用高温水平チューブ炉

カーボライト・ゲロの高温チューブ炉HTRHは最高1800℃で水平使用で…

二珪化モリブデン（MoSi2）ヒータエレメントは長方形のハウジングに納められています。ヒータエレメントは垂直に吊り下げられており、そのため交換が簡単です。高温かつ酸素存在下ではMoSi2は酸化層（SiO2）を形成し、熱的、化学的腐食からヒータエレメントを保護します。 3ゾーンチューブ炉（HTRH-3）はシングルゾーン製品と比較しより高い均熱性を実現します。これらのモデルでは各加熱ゾーンに対し...

メーカー・取り扱い企業： ヴァーダー・サイエンティフィック株式会社