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実験・研究開発用途 受託成膜サービス『ALD(原子層堆積)装置』
PRご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜をお手伝い。ライブデモ、パ…
ワッティーでは、ALD装置を使用した『受託成膜サービス』を行っております。 Al2O3、TiO2、ZrO2、HfO2、RuO2、SiO2、TiN等、各種酸化膜・窒化膜の成膜が可能。 成膜可能サイズは小チップからパイプ、フィルム等、300mmの大きさまで対応可能です。 ご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜のお手伝い、お客様立会い によるライブデモや、ご希望のレシピ、パラメータ...
メーカー・取り扱い企業: ワッティー株式会社
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当社標準レイアウトからカスタムレイアウトまで、お客様のニーズに応じたウ…
、当社の専門性が光ります。 私たちが提供するパターンウェハは、Line&Spaceからホールパターン、ピラーパターンといった標準レイアウトを取り揃えています。また、材料選択においても、Si、SiO2、Poly-Si、レジストなど、お客様の多岐にわたる要望に柔軟に応えることができます。さらに、標準レイアウトに縛られず、カスタム設計も承っております。お客様のパターンレイアウト案に基づき、専用CA...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社フィルテック 本社
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