実験用エキシマUV照射装置

高照度172nmエキシマランプ　管面照度150mW/cm²以上

浄表面改質 ・フィルム、ガラス、樹脂、金属等の貼り合わせ ・HDD洗浄、改質、潤滑油硬化 ・レジスト除去、アッシング ・チップ、フィルム、基板接合面洗浄 【装置導入事例】 ・G8サイズTFT基板成膜前洗浄装置 ・ロールtoロール洗浄装置 ・レジストアッシング装置 ...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社