79GHzミリ波レーダー方式 非接触型振動センサー

PR悪環境(高温等)でも影響なし！40KHzまでの広帯域・高振動周波数の計…

当製品は、79GHzミリ波レーダー技術を応用した レーダー信号処理プロセッサー内蔵の振動センサーです。 内蔵レンズ付きアンテナにより狭範囲の測定が可能。 40KHzまでの広帯域・高振動周波数の計測ができます。 0.03μm(pk-pk)程度の極微小変位計測能力があります。 また、非接触計測なので機械共振の心配がありません。 【特長】 ■0.03μm(pk-pk)程度の極微...

メーカー・取り扱い企業： サクラテック株式会社

フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社