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最新のCMOSensTM技術により開発されたマスフローコントローラー
＜SFC4000 マスフローコントローラー＞ 【特徴】 ●制御速度 ＜100ms ●高精度 セットポイントの0.8％ ●ダウンマウント、Swagelok、VCRまたはVOCフィッティング ●デジタルキャリブレーション＆温度補償 ＜SFC3000 OEMマスフローコントローラー＞ 【特徴】 ●測定範囲：0～±100Pa、分解能±0.001p...
メーカー・取り扱い企業： センシリオン株式会社
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