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最新のCMOSensTM技術により開発されたマスフローコントローラー
<SFC4000 マスフローコントローラー> 【特徴】 ●制御速度 <100ms ●高精度 セットポイントの0.8% ●ダウンマウント、Swagelok、VCRまたはVOCフィッティング ●デジタルキャリブレーション&温度補償 <SFC3000 OEMマスフローコントローラー> 【特徴】 ●測定範囲:0~±100Pa、分解能±0.001p...
メーカー・取り扱い企業: センシリオン株式会社
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