真空環境用ウエハ搬送ロボット『UTVW-R2800H』

【～300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用！ 高…

■Z軸が標準搭載されているダブルアームタイプの真空用ウエハ搬送ロボット ■θ軸にダイレクトドライブモータを採用し、ウエハを低振動で搬送することで スループット向上に貢献 ■CVD装置、アニール装置など、高温プロセス装置に対応 ■可搬重量2kgのため、重量物搬送にも対応 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 ...【仕様】 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

搬送関係システム『レーザーマーカー』

オプションにてビジョンカメラなどはカスタマイズ可能！自動幅調整機能を搭…

『レーザーマーカー』は、SMEMA規格インターフェイスの搬送関係システムです。 自動幅調整機能を搭載。オプションにて、レーザーヘッド、バーコードスキャナ、 ビジョンカメラはカスタマイズ可能です。 基板寸法がL330×W250mmの「ALM-100S」をはじめ、L440×W330mmの 「ALM-100Y」、L530×W460mmの「ALM-100X」をラインアップしております。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ペントロンジャパン

搬送関係システム『インクジェットマーカー』

XY軸はロボットシステムによるマーキングヘッド動作！自動幅調整機能を搭…

『インクジェットマーカー』は、コンベアエッジベルトを使用した 搬送関係システムです。 最大基板がL330×W250mmに対応の「AIM-100S」と、 L510×W510mmに対応の「AIM-100X」をラインアップ。 オプションとして、ベルトタイプ（標準・高温）、 マルチゾーンコンセプト、スピードコントローラーなどを ご用意しております。 【特長】 ■コンベアスピード...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ペントロンジャパン