エアベアリング ステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

試作・少ロット専門！金属プレス加工【設計意図を即、カタチに！】

PR「プレスでは無理かな？」と思っても、まずはご相談ください！設計意図を即…

自由曲面や深絞りなど3次元形状の金属部品を1個からでも プレス加工でスピーディーかつ高品位に仕上げます。 35t～600tまでの油圧プレスを有し、 例えば自動車部品なら ブラケット類からピラー・フレームなどホワイトボディ構成の 構造部材類程度のサイズまで試作対応が可能。 また、高速油圧プレスによる小ロットや限定プレス部品の短期納入にも併せて対応します。 【特長】 ■600...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社加川製作所

光学式エリアスキャナFlying Spot Scanner310

12inchウエハの全面厚み測定が可能。走査ステージレスで、振動の影響…

Flying Spot Scanner310』は、XY2軸のガルバノミラーにより広範囲（～φ310)のエリアスキャンができる光学式測定器です。ステージ走査が不要なため、ステージからの振動の影響もありません。分光干渉原理により、厚み測定、寸法形状測定、表...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

光学式エリアスキャナ「Flying Spot Scanner」

振動の影響を受けずに高速エリアスキャン。オンライン、オフライン、品質管…

『Flying Spot Scanner』は、XY2軸のガルバノミラーにより広範囲（～φ80)のエリアスキャンができる光学式測定器です。ステージ走査が不要なため、ステージからの振動の影響もありません。分光干渉原理により、厚み測定、寸法形状測定、表面...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

蓄電池・バッテリーの測定をサブミクロン分解能で高速高精度で測定

高温環境での平坦度測定や製造工程中の異物検査、ボタン電池のエッジ形状検…

さ測定、変位測定、外観検査に適用でき、加工中のインプロセス測定やインラインでの高速検査、オフライン測定が可能です。 各種インターフェースを用意しており、組み込み用途にも対応。 高分解能（最小XY分解能1μm～、最小Z分解能0.02μm～）で測定が行え、製品品質の向上、製造プロセスの時間・コスト削減に貢献します。 シングルポイントセンサでは、低価格向けの製品（CHRcodile C, CH...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

高速カメラ『CHRomatic Vision Camera』

インライン向けの高速で、高精度な外観検査用のラインカメラです。ウエハ検…

ます。２次元画像が得られます。また、最大140kHzの高速スキャンにより、インラインでの外観検査（クラック、スクラッチなどの形状欠陥、異物検査）が可能です。 【特長】 　■高分解能 　　　XY 0.9um~2.9um(焦点深度3mmタイプは、2.9um) 　■多種の材料に対して高いコントラスト 　■高速で振動に強い 　■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、 　　　装置組込み...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

高精度非接触厚さ測定器【半導体用ウエハー】

高分解能の形状測定を実現。センサプローブの種類が豊富。平坦度や厚みのイ…

定、変位測定、外観検査に適用でき、加工中の インプロセス測定やインラインでの高速検査、オフライン測定が可能です。 各種インターフェースを用意しており、組み込み用途にも対応。 高分解能（最小XY分解能1μm～、最小Z分解能0.02μm～）で測定が行え、 製品品質の向上、製造プロセスの時間・コスト削減に貢献します。 【特長】 ■幅広いセンサラインナップ 各種センサプローブの中から...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

エリアスキャンセンサー『Flying Spot Scanner』

XYステージ不要！分光干渉原理による厚みと距離（変位）測定が可能！ウエ…

スキャン形状とフィルタによる簡単な対象領域の検査ができます。 また、反射面でも良好な結果を得ることが可能です。 【特長】 ■超高速光学スキャン ■測定対象物と光学センサーは固定 ■XYステージ不要 ■分光干渉原理による厚みと距離（変位）測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

小型で安価な高精度光センサ『CHRocodile Mini』

高精度・高速で、安価なシングルポイントセンサ。厚み・距離・高さ測定用に…

)～厚膜(400mm)までカバー。(屈折率1.5の場合） 　　　距離センサとしては、600um, 4mm, 10mmの3種類の 　　　プローブラインナップ。 　■高分解能（ Zはサブミクロン、XYは数um~） 　■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、 　　　装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)も用意 　■多業界で豊富な実績 　　　半導体業界、コンシューマー家電、ガラス製...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

３次元測定 - ラインセンサ『CHRocodile CLS』

サブミクロン精度で高速・広範囲を３次元形状測定。エッジや斜面にも対応で…

『CHRocodile CLS』は、100万ポイント/秒で高速3次元形状測定を実現できます。分解能も最大XY 1um, Z 0.02umと、非常に高精度な測定が可能。レンジ幅、分解能、精度から最大6種類の測定ヘッドをご用意し、インラインへの適用も可能です。 【特長】 　■広範囲エリアの非接触３次元...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社