プレシテック・ジャパン株式会社エリアスキャンセンサー『Flying Spot Scanner』

最終更新日：2022-03-30 14:38:09.0
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XYステージ不要！分光干渉原理による厚みと距離（変位）測定が可能！ウエハ検査用途にも。

『Flying Spot Scanner』は、分光干渉測定技術と高速スキャン
システムを結合したスキャナです。

80mm径を高速スキャンしオフライン、インライン、品質管理に対応。
定義可能なスキャン形状とフィルタによる簡単な対象領域の検査ができます。

また、反射面でも良好な結果を得ることが可能です。

【特長】
■超高速光学スキャン
■測定対象物と光学センサーは固定
■XYステージ不要
■分光干渉原理による厚みと距離（変位）測定

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

特設サイト

基本情報エリアスキャンセンサー『Flying Spot Scanner』

【アプリケーション】
■家電（スマートフォン）
・等角のコーティングの厚み
・トポグラフィー
■半導体
・高速BGA計測
・高速基板検査
・高速ウェハー厚み計測
・高速反り計測

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用途／実績例	【用途・測定項目・メリットなどキーワード】非接触センサ、光センサ、光学センサ、分光干渉法、厚み、薄膜、厚膜、ギャップ、高さ、平坦度、TTV、形状、計測、測定、検査、高速、3次元、エリアスキャン、全面、高精度、インライン、モニタリング、In-Situ、加工中、加工前後、研磨、オフライン、スタンドアロン機、卓上機、抜き取り、組込み、半導体、ウエハ、ウエハ貼あわせ、Siウエハ、Si, GaAs, InP, SiC, LiNbO3(LN), LiTaO3(LT), GaN, SiP、Al2O3(サファイア）、溶接部、ガラス、PCB、コート、フィルム、多層フィルム、塗布膜、コンフォーマルコーティング、電極層コーティング、ステントコーティング、ポリイミド、PVB、樹脂材、フラックス、接着剤、絶縁膜、空気層、透明、透明体、光沢、鏡面、簡単

カタログエリアスキャンセンサー『Flying Spot Scanner』

取扱企業エリアスキャンセンサー『Flying Spot Scanner』

プレシテック・ジャパン株式会社

■レーザ加工関連　- 加工ヘッド　- 溶接ヘッド　- プロセスモニター ■光学センサ <距離・形状、厚み測定> ・色収差共焦点 CHRocodileシリーズ　- シングルポイント　　2S/2SE：高精度　　2HS：ハイパワー　- デュアルポイント　　2DPS 　- 廉価版シングルポイント　　C：プローブと一体　　Mini：プローブと別体　- ラインセンサ　　CLS：低クロストークノイズ　　CLS2.0：長いライン長・広測定範囲　　CLS2 PRO：長いライン長・角度許容度高・分光干渉CHRocodileシリーズ　- シングルポイント　　2IT：高精度　　2DW：ドープウエハ対応　　2RW：粗ウエハ対応　　2SX：加工モニタリング用広測定範囲・分光干渉センサ用エリアスキャナ　　　Flying Spot Scanner：Φ40～310mm 　　　＊CHRocodileシリーズと組合わせ <厚み測定> レーザーフォトサーマルセンサ Enovasenseセンサ：不透明体の非接触測定