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XY各軸の慣性力を抑え、すぐれた高速応答性を可能としました!
精密ステージ 高応答XYステージ EXは、クロスLMガイドCSR形を採用した、サドルを使用しない構造のシンプルXYステージです。2軸のモータを固定する特殊な構造を採用することにより、動作部の重量を極限まで軽量化し、XY各軸の慣...
メーカー・取り扱い企業: トークシステム株式会社
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