XYステージ | イプロスものづくり

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応ストロークは50ｍｍ～500ｍｍエンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

THK　精密ステージ高応答XYステージ　EX

ＸＹ各軸の慣性力を抑え、すぐれた高速応答性を可能としました！

精密ステージ高応答XYステージ　EXは、クロスＬＭガイドＣＳＲ形を採用した、サドルを使用しない構造のシンプルＸＹステージです。2軸のモータを固定する特殊な構造を採用することにより、動作部の重量を極限まで軽量化し、ＸＹ各軸の慣...

メーカー・取り扱い企業：トークシステム株式会社

精密薄型アライメントステージ自動一体型XYθステージ

電子部品の評価、接合、画像処理装置・各種検査装置用の位置決めに最適

全高を低くした一体型XYθの3軸アライメントステージで、小型液晶パネルのアライメント、評価、接合以外に電子部品の評価、接合、画像処理装置・各種検査装置用の位置決めに最適です。【製品ラインアップ】 ●自動XYθステージ『YRAシリーズ』...＿...

メーカー・取り扱い企業：株式会社カナデン本社

【顕微鏡検査】開口付　高精度XY軸ピエゾモーターステージ

厚さ32mm、分解能0.1µm、XY：25mm動作範囲　開口付ピエゾモ…

U-751　開口付ステージは、顕微鏡検査における自動位置決めアプリケーション用に設計されたものです。【特徴】 ○内蔵のクローズドループピエゾモーター駆動により、100mm/sの高速化を実現 ○ストローク：25×25mm ○分解能0.1μmのリニアエンコーダを内蔵 ○コンパクトな設計：断面高さ32mm、設置面積170×170mm ○センター開口部：78×78mm、66×66mm（最大拡大時） ○静...

メーカー・取り扱い企業：ピーアイ・ジャパン株式会社本社

XYテーブル・XYステージ「ドライリン」：無給油、高効率

完全無潤滑で耐食性に優れ、高剛性。位置決めに最適。

イグスのXYテーブル・XYステージ「ドライリン」は、送りねじ駆動のスライドテーブルを組合わせたものです。手動またはモータ駆動が可能で、高性能樹脂製スライド部の滑りで動作するため、完全無潤滑で耐食性に優れます。 - 100%...

メーカー・取り扱い企業：イグス株式会社

XY軸・高速応答・薄型ピエゾステージ『ML-20XYL』

ローコスト！一体弾性ヒンジ機構の摩擦レス動作により移動精度が優れていま…

『ML-20XYL』は、薄型設計のXY軸・高速応答・薄型ピエゾステージです。変位センサ内蔵タイプはピエゾコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。他にも、可動部中央に大型の透過窓があり光軸を導入可能な「Z軸・高速応答・透過窓付きピエゾステージ」などをご用意しております。【特長】 ■薄型 6mm ■透過窓 □20mm ■ローコスト ■一体弾性ヒンジ機...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キーストンインターナショナル

自動XYステージ(ストローク100mm)

高精度自動XYステージを採用し、様々な検出器が搭載できる測定ユニット

自動XYステージの移動範囲は100ｍｍ×100ｍｍ。　高精度ステージを搭載した測定ユニットです。ステージ制御をＰＣで行い測定位置までの移動、駆動プログラムより動作が可能です。検出器の取付板を...

メーカー・取り扱い企業：株式会社カナデン本社

【超精密位置決めピエゾステージ】PK開口付きタイプ　XY軸

移動テーブルの中央に開口部（透過穴）を有するタイプのXY軸ステージです…

超精密位置決めピエゾステージの PK開口付きタイプXY軸ステージです。ストロークは100/100μmから300/300μm、分解能は2/2nmから6/6nmまでの５つのラインナップからお選びいただけます。移動テーブル中央に開口（透過穴）を有したラインナップです。レーザ透過用や顕微鏡･分析機器と組み合わせた微細観察、高精度マッピング測定などに適しています。 ■コンパクトから大開口まで小型デ...

メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社

超薄型精密XYステージ『CYAT-070』

各種装置導入後のXY軸後付けに好適！LMガイドの採用によりロングストロ…

『CYAT-070』は、2軸一体構造により、大幅な薄型化を実現する超薄型XYステージです。透過穴φ30mmをフルストロークで確保し、顕微鏡用小型XYステージとしても使用可能。薄型構造のため、各種装置導入後のXY軸後付けに好適です。また、LMガイドの採用により...

メーカー・取り扱い企業：神津精機株式会社

超薄型XYθ（アライメント）ステージ「NAF3Cシリーズ」

電動アクチュエータを同一平面上に配置した超薄型ステージ　　　　　　～ …

超薄型XYθ（アライメント）ステージ「NAF3シリーズ」は、電動アクチュエータを同一平面上に配置した超薄型ステージであり、装置全体の低重心が実現可能です。スライド部分には中間プレートを上下2枚のプレートで挟み込む「予圧型ダブルスライド」構造を採用。各プレートの間に多数のボールが配置され、スムーズな平面転がり運動を可能にしています。【特長】 ○超薄型構造・低重心 ⇒３軸...

メーカー・取り扱い企業：ヒーハイスト株式会社本社・埼玉工場

リニアボールガイド BSS/BSBシリーズ　カタログ

リニアボールガイドをタイプ別に充実したラインアップで掲載しています！

当カタログでは、手動ステージ『リニアボールガイド BSS/BSBシリーズ』をご紹介しています。本体素材はステンレス、ガイド部にゴシックアーク溝を採用し、高剛性・高精度を実現。充実したサイズ/表面処理/オプション仕様でラインアップしています。【掲載製品】 ■X軸リニアボールガイド(SS)ステージ □25 ■X軸SSステージ操作側クランプタイプ □40/□50/□60/...

メーカー・取り扱い企業：駿河精機株式会社

小型で25mmまでの動作量：リニアステージ M-11x型

サイズ60mm四方で、XYZ軸の組合わせが可能なコンパクトリニアステー…

【DCモータ、ステッピングモータを使用したリニアステージ】 ■トラベルレンジ：5～25mm ■最小移動量：0.2µm ■耐荷重：30N ■サイズ：60×62×20mm～ ■XY軸、XYZ軸にセットアップ可能で、真空にも対応(10^-6hPa）【コンパクトなリニアステージ、多用途】 ■ベルト駆動が折り重なったコンパクトサイズのリニアステージです ■開口部は10 mm Øです ■XYセットアップを...

メーカー・取り扱い企業：ピーアイ・ジャパン株式会社本社

P-733.2／3 XY(Z)ピエゾナノポジショニングステージ

高精度XY(Z)スキャナシリーズ（開口部付き）。高速かつ高精度のナノポ…

P-733 XYおよびXYZピエゾ駆動ステージは、高速かつ高精度のナノポジショニング／スキャニングシステムです。【特徴】 ○ストローク：XY軸方向に100 x 100μm、高さ方向に～10μm ○静電容量センサーにより分解能～0.1nmを実現 ○直動式の高速バージョン ○真空対応および非磁性バージョン ○パラレル制御によるダイナミクスの向上／多軸の精密制御 ○パラレル計測によるアクティブ軌道...

メーカー・取り扱い企業：ピーアイ・ジャパン株式会社本社

XYステージ ICF152タイプ『KXY-152』

超高真空領域での使用が可能！中空構造の2軸の可動ステージ

『KXY-152』は、中空構造の2軸（X軸・Y軸）の可動ステージです。駆動部にはマイクロメーターヘッドを用いることで±2µmでの位置決めが可能です。内部の駆動方式をベローズ方式にすることで、超高真空領域での使用可能なほか、有効内径Φ100mmを設けることが可能となる為、内部のスペースを有効に使用できます。また、オプションのモーター駆動ユニットを追加する事で、更に...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

XY軸エアベアリングステージ A-311型

スキャンアプリケーションや高精度の位置決めに最適※OPIE2023ポジ…

エアベアリングを備えた高精度XY平面スキャナーはフラットなデザインで積み重ねられたXYステージ。効率的でコンパクトな設計により、設置スペースが限られている機械のスペースを節約可能。・スキャンアプリケーションや高精度の位置決めに最適・クリーンルーム対応・移動範囲は300...

メーカー・取り扱い企業：ピーアイ・ジャパン株式会社本社

はんだ接合強度試験用ステージ『SJS-100N-L/S』

5°と90°で切り換えて使用！はんだ接合強度試験の基板固定用ステージの…

【SJS-100N-L　製品仕様(抜粋)】 ■用途：大きい基板固定用 ■型式：SJS-100N-L ■最大荷重値：100N ■本体重量：約3.2kg ■XYステージ移動量：±30mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社イマダ

H-840.G2IHP型　高精度ヘキサポッドステージ

お客様の声を元に、ヘキサポッドの駆動精度をより高めました！XY軸は40…

20年以上も前からヘキサポッドステージをご提供していますが、お客様の声を元に、駆動精度を高めたヘキサポッドをリリースしました！ XY軸は40 nm、Z軸は20 nmのステップ動作を可能にします。生産および測定技術における位置合わせおよび位置決めアプリケーションの最高の要求を満たすことが可能です。＜仕様＞・駆動軸　6軸・トラベルレンジ　 XY＝±50mm、Z=±25mm、θxθy＝±1...

メーカー・取り扱い企業：ピーアイ・ジャパン株式会社本社

手動XYステージ

簡易的な手動ＸＹステージ、耐荷重、ストローク長、ステージサイズなどカスタマイズ可能な低価格ステージです。...簡易的な手動ＸＹステージ、耐荷重、ストローク長、ステージサイズなどカスタマイズ可能な低価格ステージです。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社MSAファクトリー

新製品！V-857型　高負荷＆小幅＆高速リニアモーターステージ

132mmの小幅で長動作の高精度＆高速リニアモーターステージをリリース…

PI社はリニアモーター製品を拡充しています。最大1200mm、耐荷重1000Nの「V-857型」高精度＆長作動＆小幅の 1軸リニアモーターステージリリースしました。XY軸構成も可能です。【特長】・最大1000Nの耐荷重・長い移動距離（1200mmまで）で小幅形状（幅132mm）・最大速度５ m/s ・高精度インクリメンタルまたはアブソリュートリニアエンコーダ・容易にXY設置構成 ...

メーカー・取り扱い企業：ピーアイ・ジャパン株式会社本社

アライメントステージ『SA200DE』

X軸を標準設定,θ軸のトルクUPを実現！SAシリーズの200サイズをア…

『SA200DE』は、直線位置決め用のXテーブルである、SA200DE/Xを標準設定として新規追加したアライメントステージです。回転位置決め用であるSA200DE/Sと組み合わせることによって、XYθ軸の 3方向に可動する極めてコンパクトなアライメントステージを簡単に構築可能。ボールねじ駆動のステージと比較して、極めて低い断面高さを実現しています。【特長】 ■XYθ...

メーカー・取り扱い企業：藤川伝導機株式会社

エアベアリングステージ

エアステージLBTシリーズ

、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹介標準化により低コスト、短納期を実現しております。 XYステージのラインナップもございます。...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

自動Xステージ『SXAシリーズ』

低価格とサブミクロンの送り精度を両立した位置決めステージ。高耐荷重で活…

神津精機の自動X・XYステージ『SXAシリーズ』は先駆的な製造分野で高いコストパフォーマンスを実現いたします。【こんなことでお困りではありませんか？】 ■生産ラインでたくさん使うので、出来るだけコストを抑えたい ...

メーカー・取り扱い企業：神津精機株式会社

電動アクチュエータ　EX （精密ステージ） [THK公式］

優れた応答性を実現、低イナーシャ構造を採用

THKの電動アクチュエータ精密ステージシリーズ　EX（XYステージ）は、従来型のようにサドルを使用しない構造のシンプルなXYステージです。操作部を極限まで軽量化し、各軸の慣性力を抑えることで、優れた高速応答性を実現しました。なお関連リンク先では、よ...

メーカー・取り扱い企業：ＴＨＫ株式会社

【超薄型・大開口部】高性能ピエゾステージ

低ノイズ・高分解能・高再現性のクローズドループ制御対応の高性能ピエゾス…

・移動距離最大800μm (XY)、最大300μm (Z) ・超薄型モデルあり・大きな開口部モデルあり　　・40 x 40 mm 　　・66 x 66 mm 　　・83 x 66 mm 　　・83.6 x 54 mm 　　・128.5 x 86.5 mm ・クローズドループ制御・低ノイズ、pmレベル・粗動位置調整用のマニュアルステージとのハイブリッドモデルもご提供 ...

メーカー・取り扱い企業： MSHシステムズ株式会社

多軸ステージユニット/アクセサリ　カタログ

多軸ステージユニットやアクセサリを豊富なラインアップで掲載しています！…

当カタログでは、手動ステージのユニットやアクセサリをご紹介しています。手動ステージの組み合わせ選定の手間を省いた「多軸ステージユニット」をはじめ、手動ステージ用アクセサリ「マイクロメータヘッド(保守部品)」や「送りねじ」を掲載しています。【掲載内容】 ■多軸ステージユニット ■マイクロメータヘッド（保守部品） ■送りねじ ■Z軸ブラケット ■アダプタプレート ...

メーカー・取り扱い企業：駿河精機株式会社

X417 多軸モーションシステム

産業向けアプリケーションに好適な、X417型高精度位置決めシステムは、…

お客様のご要望のトラベルレンジ、位置決め精度、軸数、オプションなど組合せが可能です。モーションコントローラ：ソフトウェアも付属するため、制御プログラムの開発に移れます。 XY軸ステージのみ、グラナイトベース付きも可能です。 XYZ軸システムにおいては、リニアサーボモータステージの構成になります。...・XY軸構成： V417型高精度位置決めステージ・トラベルレンジ：204～40...

メーカー・取り扱い企業：ピーアイ・ジャパン株式会社本社

高精度位置決めステージ｜超音波モーターステージ

SPPAアクチュエータ採用の高精度位置決めステージです。最大100mm…

「超音波モータステージ」は、最大100mm（ミリ）までをナノメートル単位で微小送り動作ができる、高精度位置決めステージです。専用コントローラと接続し、内蔵リニアスケールによるクローズドループ制御で動作します。高い位置決め再現性を求める光学実験や分析･測定機器に最適です。電磁モータ式に比べて発熱や磁場が小さいといった特長があり、真空や非磁性などの特殊環境にも対応可能です。「X...

メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社

アライメントステージ『SA…DE』

ダイレクトドライブ方式を採用！低断面でコンパクトなXYθ運動を実現

『SA…DE』は、直動案内部に小形直動案内機器のリニアウェイL、回転案内部にクロスローラベアリングを使用したアライメントステージです。ダイレクトドライブ方式のステージをフルクローズドループ制御することにより高分解能と高精度を実現。 X軸とθ軸の組み合わせやXY軸のアライメントテーブルを簡単に構築することができます。【特長】 ■コンパクトなXYθテーブル ■XY...

メーカー・取り扱い企業：日本トムソン株式会社

位置決めステージ『モンブランシリーズ』

カスタムメイドの経験を凝縮した汎用高精度位置決めステージ

ニットなどのラインアップが豊富で、小型液晶パネルのアライメント、電子部品の評価、接合、画像処理装置・各種検査装置用の位置決めに最適です。【製品ラインアップ】 ●自動X／XYステージ ●自動Zステージ ●自動回転ステージ ●自動スイベルステージ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社カナデン本社

GMT社製『リニアモーション部品・精密手動ステージ』カタログ進呈

高品質・短納期。リニアガイドをはじめ、位置決めステージなど各種ラインア…

当社では、台湾・GMT社製の『リニアモーション部品・精密手動ステージ』をはじめとした、高品質の機構部品を幅広く取り揃えております。また、短納期での納品対応が可能で、リニアガイドは3ヵ月以内での納品を実現しております。（※2018年5月現在）ただいま、「ミニチュアリニアガイド」をはじめとした、取扱製品のカタログを進呈中です！【現在配布中のカタログ】 ◎サポートユ...

メーカー・取り扱い企業：千代田交易株式会社

アクチュエータ/ＸＹステージ　総合カタログ

NanoAutomation(R)：化学・産業向け精密位置決め。ハイテ…

PIは現在、重要なハイテク市場のすべてにマイクロ／ナノポジショニング・ソリューションを提供しています。【特徴】カタログ内容紹介 ○会社概要 ○ピエゾアクチュエータ＆コンポーネント ○ピエゾフレクシャーステージ/高速スキャニングシステム ○高速ステアリングミラー/アクティブオプティクス ○PiezoWalk(R)モーター/アクチュエータ ○リニア、ハイブリッドステージ ...

メーカー・取り扱い企業：ピーアイ・ジャパン株式会社本社

PIHera高精度ステージ P-620.Z－P-622.Z

最終段位置計測と長いストロークを特徴とするナノポジショニングシステムシ…

Z軸PIHera(R)システムは、ストロークが最大400μm、サブナノメートルの分解能を提供する、低価格のピエゾナノポジショニングステージです。【特徴】 ○垂直ストローク：50～400μm ○高精度、低コスト ○0.1nmの分解能 ○静電容量センサーを内蔵 ○0.02%の位置決め精度 ○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる...

メーカー・取り扱い企業：ピーアイ・ジャパン株式会社本社

P-611.ZピエゾZステージ

コンパクトナノポジショナー。クローズドループストローク100μmを特徴…

P-611.Zステージは、設置面積がわずかに44 x 44mm、クローズドループストローク100μmを特徴とする、ピエゾベースのナノポジショニングシステムです。【特徴】 ○コンパクト設計：設置面積はわずか44 x 44mm ○ストローク～120μm ○分解能～0.2nm ○低コストの機構／電子システム構成 ○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによ...

メーカー・取り扱い企業：ピーアイ・ジャパン株式会社本社

超小型精密ステージ

・低価格・超小型・超軽量・バックラッシュ無し・貫通取り付け穴のスライダー・X、XY、XYZ、XZ の組み合わせ自由...ナショナルアパチャー社の超小型精密ステージ ”MicroMini”は、現在市場で購入できる最も小さな、そしてサブミクロンのレゾリューションを持ったステージです。これらのステージは、前述のピンホールアパチャーの位置だしの他、一般的な...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キーストンインターナショナル

電動アクチュエータ　A/AX （精密ステージ） [THK公式］

高精度でバリエーションが豊富　さまざまな用途に対応可能

THKの電動アクチュエータ精密ステージシリーズ　A/AX（1軸/XY）は、同じストロークの従来型と比べ高さ寸法最大約27％のコンパクト化を実現しました。鉄使用とアルミ仕様とあり、用途に合わせて選定が可能です。アルミ仕様の場合は、従来型と比べて、本体質量最大約72％のダウンも実現しました。なお関連リンク先では、より、詳細な製品説明をはじめ、製品カタログ、取扱説明書、仕様図・寸法表、２DC...

メーカー・取り扱い企業：ＴＨＫ株式会社

NB アライメントステージ　『NTX形』

直動運動＋回転運動の駆動要素を同一平面状に配置した薄型ステージ！

「NB アライメントステージ NTX形」は同一平面上にXY方向とθ方向の駆動要素を配置した薄型ステージです。【特長】 ■直動運動＋回転運動の駆動要素を同一平面状に配置 ■回転中心位置の自由設定が可能 ■サイズやストローク、透過穴等用途に合わせた特殊仕様の対応可能詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...【ラインアップ】 ■NTX-C15-AC...

メーカー・取り扱い企業：日本ベアリング株式会社

XＹθステージ　NAF3シリーズ

電動アクチュエータを平面上に配置した超薄型ステージ

スライド部分には中間プレートを上下2枚のプレートで挟み込む「予圧型ダブルスライド」構造を採用。各プレートの間に多数のボールが配置され、スムーズな平面転がり運動を可能にしています。また3つのアクチュエータを同一平面上に配置した為、低重心・超薄型シンプル構造を実現。装置の小型化に貢献します。...【特徴】 ○3つのアクチュエータを同一平面上に配置することにより超薄型シンプル構造を実現。 ○「予...

メーカー・取り扱い企業：ヒーハイスト株式会社本社・埼玉工場

高精度直動アクチュエータ『ミリオンアクチュエータ』

従来比３倍の繰返し精度！位置決め精度±１μｍを実現した高精度アクチュエ…

『ミリオンアクチュエータ』は、位置決め精度 ±1μmを実現したリニアアクチュエーターです。ガイド部にローラー式ミリオンガイドを採用しているため、他社ボールガイド採用のアクチュエータと比べ、剛性が 10 倍以上!また、振動も少なくなめらかなため、XY 方向繰り返し精度も3倍以上！ステッパーなど、各種光学機器のレンズ・ミラー移動や微少角度調整、カメラ・センサの位置調整といった微調整用途に最適です。 ...

メーカー・取り扱い企業：アイセルグループ株式会社

電動アクチュエータ　CMX （精密ステージ） [THK公式］

画期的なモジュール構造を採用した超薄形ステージ（特許取得済）

THKの電動アクチュエータ精密ステージシリーズ　CMX（アライメントステージ）は、トップテーブルサイズ1500m×1500mの大型ステージを標準化することで大型ワークに対応、サドルレスの軽薄機構により超薄型・軽量化も実現しました。さらに中抜き構造であるため、光学式検査装置や導通テスタに採用されております。その他、FPD製造・検査装置、半導体製造装置・検査装置、スクリーン印刷機・マスク検査装...

メーカー・取り扱い企業：ＴＨＫ株式会社

ST07A-S1W/YMO7A-SIW

薄型XYステージと薄型スイベルステージの採用で、ダウンサイジングを実現…

当社で取り扱う『ST07A-S1W/YMO7A-SIW』をご紹介いたします。薄型XYステージと薄型スイベルステージの採用で、ダウンサイジングを実現。従来型よりも高さが46mm（約50％）ダウンし、φ18mmの透過穴で使用用途が広がります。テーブル面は70mm×70mm、...

メーカー・取り扱い企業：神津精機株式会社

GENERAL CATALOG Vol.22 製品カタログ

超精密位置決めステージ、真空ステージ、産業用システム製品などをラインア…

当カタログは、神津精機株式会社で取り扱う産業用装置や実験研究用装置の製品カタログです。小型6軸マニピュレータ「MPSシリーズ」をはじめ、表面形状測定システム「Dyvoceシリーズ」や放射光施設用装置など多数掲載。製品の選定にぜひご活用ください。【掲載製品】 ■システム製品/産業用 ■システム製品/実験研究ソリューション ■位置決めステージモンブランシリーズ ...

メーカー・取り扱い企業：神津精機株式会社

『ピエゾモーター・アクチュエーター』

小型で高出力！精密に長時間位置を保持する製品を多数ラインアップ！

の精密モーターは、スピードも 15nm/secから20mm/secまで幅広い設定が可能です。停止時のバックラッシュや電源オフにおける脱調がなく、モーターを使用しロータリーステージ、XYステージを始め、ミラーマウントに取り付けられるプラムアクチュエーターなど精密に長時間位置を保持する製品を数多く取り揃えております。【特長】 ■小型で高出力 ■長ストロークの精密モータ...

メーカー・取り扱い企業：オーテックス株式会社

『AFM性能アップキット』

AFMの可能性を広げる！nPoint社製のAFM性能アップキット

オングストロームテクノロジー株式会社の『AFM性能アップキット』は、併用することでAFMの機能がさらにパワーアップされ、AFMを用いた研究・開発が促進します。平面安定度が優れ、世界各国でAFMの性能アップに用いられており、ステージのXY(Z)軸がクローズループでコントロールし、安定した拡大画像を提供いたします。【特長】 ■クローズドループにより最大でXY軸を400...

メーカー・取り扱い企業：オングストロームテクノロジー株式会社

クイーンズゲイト製品（ピエゾ）総合カタログ

サブナノメータの分解能をはじめ、高い精度が必要となるご用途に好適！

当カタログは様々なナノポジショニング製品・システムを開発・販売しているクイーンズゲイト社の製品について紹介しています。ピエゾ駆動のZステージやXYステージ、静電容量センサー、ピエゾアクチュエータ等、取り扱い製品例を掲載。これら製品の持つ性能・仕様も、グラフと共に説明しています。サブナノメータの分解能をはじめ、高い精度が必要となるご用途に好...

メーカー・取り扱い企業：プライアー・サイエンティフィック株式会社

【超精密位置決めピエゾステージ】PSベーシックタイプ　XY軸

高速、高分解能で再現性に優れた位置決めが可能です。ストロークは30/3…

超精密位置決めピエゾステージのPSベーシックシリーズのXY軸ステージです。 XY軸ステージはストロークが30/30μmから500/500μmまでの製品を充実のラインアップで取り揃えております。 PSベーシックシリーズは高速、高精度位置決めで圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速、高分解能で再現性に優れた位置決めが可能です。使いやすいインターフェースが自慢で...

メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社

【超精密位置決めピエゾステージ】PU超精密加工用タイプ　XY軸

超精密切削におけるマイクロ・ナノ加工が実現！ストロークは30μmと60…

ピエゾステージ　PU超精密加工用タイプは、軸超精密加工への応用に最適です。 FTS（ファストツールサーボ）としてバイトの切り込みや、ワーク（加工物）の移動に用いて精密金型加工が実現できます。他のタイプと比較して、数倍大きな発生力をもつ積層型圧電素子を搭載しています。 ■防塵防滴の対策密閉構造で加工液やミスト対策を施しており、小さな切削屑などの侵入を防ぎます。 ■堅牢な本体加工時の安定性...

メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社