エアベアリング ステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

非接触3D測定システム

業界における標準機！満足できる検査速度と精度と簡単なオペレーション

『非接触3D測定システム』は、150mmのXY方向をカバーする機種から 最大移動量600mmまでの広いスキャンエリアをもつ機種まで幅広い機種選択が 可能なシステムです。 「測定に時間がかかる」「精度に不満がある」「自動化が出来ない」といった お悩みはございませんか？ 測定速度は業界トップクラスで、回転ステージを持つタイプもあり丸形部品の プロファイルも測定可能。デモ機により本機...

メーカー・取り扱い企業： Woyton Technologies株式会社