エアベアリング ステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

精密XYステージ

半導体用小型ステージから、液晶用大型ステージまで幅広い製作実績を誇りま…

当社では、数ミクロン単位の位置決めが必要な精密機器の製造工程において 必要不可欠な『精密XYステージ』を取り扱っております。 様々なご要望に応じたカスタムステージを製作。 また液晶製造装置用としては、第10世代対応ステージも 製作実績があります。ご要望の際はお気軽に、お問い合わせくだ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社モーショントラスト

薄型XY軸ステージ（石定盤）

薄型XY軸ステージ（石定盤）

リニヤガイドでありながら、低重心構造の採用により 高い速度安定性と高精度位置決めを実現する、薄型XY軸ステージ 【特徴】 ○パラレル駆動をX軸、Y軸に採用することにより 　上面テーブルの高さを低く抑える事が出来る為 　高速運転の際、装置全体の揺れを防止し、精度アップができる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...リニヤガイドでありながら、低重心構造...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウイング

半導体製造装置・検査装置に好適なアライメントステージ

0.1μmの追従性を実現する『RSTアライナー』と薄型・小型の省スペー…

【RSTアライナー】 ■最大の特徴である駆動ユニットのバランスの取れた正三角形配置がアライメントに必須の超高精度な微少駆動を可能に ■リニアスケール等のフィードバックを掛けずに0.1μm±20nmの高い追従性を実現 ■ベアリングを使用していない為、大口径の透過穴が実現可能 ■ウエハサイズやワークサイズに合わせ、テーブルサイズも自在 ■貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加可能 ■高...

メーカー・取り扱い企業： 神津精機株式会社

ガントリ型　4軸ステージ

ガントリ型　4軸ステージ

石定盤上にリニヤモータ駆動のXY軸ステージ 門型フレームにボールネジ駆動のZ軸ユニットを搭載し コンパクトに構成されたXYZステージ 【特徴】 ○Z軸に顕微鏡などの画像処理用機器を搭載し 　300mmサイズまでの検査工程に最適 ○通常の4軸ユニットに比べ 　高精度が必要なX-Y-θ軸の高さをリニア駆動により 　低く抑えることができ、高速での移動でも 　テーブルの揺れが...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウイング

高精度リニヤステージ　透過型ステージ

高精度リニヤステージ　透過型ステージ

ワーク両面の同時検査を可能にした 中抜きタイプのXY軸ステージ 【特徴】 ○パイプ構造のフレームと一体でステージを構成 ○裏面のスペースも十分確保 ○高剛性ながら、安価 ○軽量化が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...ワーク両面の同時検査を可能にした 中抜きタイプのXY軸ステージ 【特徴】 ○パイプ構造のフレームと一体でステージを構成...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウイング

高精度リニヤステージ　縦型5軸ステージ

高精度リニヤステージ　縦型5軸ステージ

縦型露光装置用に最適な5軸ステージ 【特徴】 ○XY軸に加え、Z軸、θ軸及び 　チィルティング機能を搭載した多軸ステージ ○マスクのアライメントに必要な機能を装備 ○縦型に配置するため、パーティクルフリーが可能 ○省スペースでの使用が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...縦型露光装置用に最適な5軸ステージ 【特徴】 ○XY軸に加え、Z...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウイング

半導体組立装置　ワイヤボンダ　FB-900

さらに進化した、スピードと安定性

【特徴】 ○低振動を実現した制振制御XYステージ ○超小型無反動カットクランプ ○低イナーシャを実現した高速ボンディングヘッド ○2周波超音波振動子の搭載 ○ワイドエリアに対応 ○2色LED照明 ○複雑な品種に対応したサポート機能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カイジョー ODM事業部

ガントリ固定型ステージ（石定盤）

ガントリ固定型ステージ（石定盤）

石定盤上にX軸ステージ 門型フレームにY軸ステージ搭載したリニヤモータステージ 【特徴】 ○XY軸を分離することにより、高精度を実現 ○650mm角サイズのワークに対応した吸着テーブルを搭載 ○大型基板の各種プロセスに最適 ○Y軸にパラレル駆動を採用 　等速性1％以下が実現し低速での読み取りが可能 ○X軸にマルチキャリア駆動を採用 　2ヘッド仕様が可能になりスループットが...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウイング