XYステージ | イプロスものづくり

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応ストロークは50ｍｍ～500ｍｍエンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

THK　精密ステージ高応答XYステージ　EX

ＸＹ各軸の慣性力を抑え、すぐれた高速応答性を可能としました！

精密ステージ高応答XYステージ　EXは、クロスＬＭガイドＣＳＲ形を採用した、サドルを使用しない構造のシンプルＸＹステージです。2軸のモータを固定する特殊な構造を採用することにより、動作部の重量を極限まで軽量化し、ＸＹ各軸の慣...

メーカー・取り扱い企業：トークシステム株式会社

精密薄型アライメントステージ自動一体型XYθステージ

電子部品の評価、接合、画像処理装置・各種検査装置用の位置決めに最適

全高を低くした一体型XYθの3軸アライメントステージで、小型液晶パネルのアライメント、評価、接合以外に電子部品の評価、接合、画像処理装置・各種検査装置用の位置決めに最適です。【製品ラインアップ】 ●自動XYθステージ『YRAシリーズ』...＿...

メーカー・取り扱い企業：株式会社カナデン本社

PILine XYステージ『U-723』

高精度でプラットフォームの位置を直接測定！ステージの位置が機械的に安定…

『U-723』は、電源オフ時、セルフロッキングドライブにより、ステージの位置が機械的に安定するように維持されるPILine XYステージです。電力消費と発熱量が大幅に削減。こうした特性は、デューティサイクルが小さく、バッテリー駆動や熱に弱い用途にとって利点となります。エンコーダによって軸の位置を測定し、光学リファレンス...

メーカー・取り扱い企業：ピーアイ・ジャパン株式会社本社

【顕微鏡検査】開口付　高精度XY軸ピエゾモーターステージ

厚さ32mm、分解能0.1µm、XY：25mm動作範囲　開口付ピエゾモ…

U-751　開口付ステージは、顕微鏡検査における自動位置決めアプリケーション用に設計されたものです。【特徴】 ○内蔵のクローズドループピエゾモーター駆動により、100mm/sの高速化を実現 ○ストローク：25×25mm ○分解能0.1μmのリニアエンコーダを内蔵 ○コンパクトな設計：断面高さ32mm、設置面積170×170mm ○センター開口部：78×78mm、66×66mm（最大拡大時） ○静...

メーカー・取り扱い企業：ピーアイ・ジャパン株式会社本社

ステージ【SSA XYシリーズリニアモーターステージ】

高精度・短納期・優れたコストパフォーマンスを実現する、2軸リニアモータ…

【SSA XYシリーズリニアモーターステージ】は、高精度・短納期・優れたコストパフォーマンスを実現する、 2軸リニアモーター位置決めステージです。 E1・E2ドライバーとの併用で、優れた速度リップル性能を実現。・最大速度 1500mm/s ・高分解能 0.1μm ・優れた再現性 ±0.5μm 【特長】 ■短納期 ■簡単な取付け ■優れたコストパフォーマンス...

メーカー・取り扱い企業：ハイウィン株式会社

PIMag リニアモータXY軸ステージ『L-731/V-731』

産医療産業、レーザー切断、走査などに！高精度位置決め可能なリニアモータ…

『L-731/V-731』は、クロスローラーガイドケージのクリープを防ぐ PIMag(R)リニアモータXY軸ステージです。高剛性が必用な環境下では「L-731」、速度安定性が重要なアプリケーションには「V-731」が好適です。産医療産業、レーザー切断、走査、バイオテクノロジーなどにご使用いただけます。【特長】 ■トラベルレンジ：205x205mm（8インチ） ■インクリメンタルリニア...

メーカー・取り扱い企業：ピーアイ・ジャパン株式会社本社

XYテーブル・XYステージ「ドライリン」：無給油、高効率

完全無潤滑で耐食性に優れ、高剛性。位置決めに最適。

イグスのXYテーブル・XYステージ「ドライリン」は、送りねじ駆動のスライドテーブルを組合わせたものです。手動またはモータ駆動が可能で、高性能樹脂製スライド部の滑りで動作するため、完全無潤滑で耐食性に優れます。 - 100%...

メーカー・取り扱い企業：イグス株式会社

PIMag 高精度開口部付XY ステージ『V-738』

高分解能インクリメンタルリニアエンコーダ！一方向再現性は0.1μmです

『V-738』は、モータタイプがアイロンレス3相リニアモータで、 150x150mmの大きな開口部が特長のPIMag 高精度開口部付XY ステージです。移動範囲は、102 mm×102 mm（4 "）。速度は、500 mm/sです。リファレンスリミットスイッチは光学式です。【特長】 ■移動範囲：102 mm×102 mm（4 "） ■150x150mmの大きな開口...

メーカー・取り扱い企業：ピーアイ・ジャパン株式会社本社

PILine ピエゾモーター顕微鏡用XY軸ステージ『U-780』

0.1μmの分解能！熱負荷が低く潤滑も不要なため、高い水準の安定性。最…

『U-780』は、静止時にセルフロックし、低ノイズな PILine ピエゾモーター顕微鏡用XY軸ステージです。熱負荷が低く潤滑も不要なため、高い水準の安定性。 10μm/sから120mm/sまでとダイナミックレンジが広く、ジョイスティックとソフトウェアによる理想的な操作です。【特長】 ■高い水準の安定性 ■0.1μmの分解能 ■最大135mm×85mmのトラベルレ...

メーカー・取り扱い企業：ピーアイ・ジャパン株式会社本社

XY軸・高速応答・薄型ピエゾステージ『ML-20XYL』

ローコスト！一体弾性ヒンジ機構の摩擦レス動作により移動精度が優れていま…

『ML-20XYL』は、薄型設計のXY軸・高速応答・薄型ピエゾステージです。変位センサ内蔵タイプはピエゾコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。他にも、可動部中央に大型の透過窓があり光軸を導入可能な「Z軸・高速応答・透過窓付きピエゾステージ」などをご用意しております。【特長】 ■薄型 6mm ■透過窓 □20mm ■ローコスト ■一体弾性ヒンジ機...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キーストンインターナショナル

接着剤塗布治具　薄型XY回転ステージ　XYR-90A

外観が円盤形状のコンパクトな一体型複合機能ステージです。

回転ステージ面にステージ板を設置し、顕微鏡と組み合わせることでコンパクトな顕微鏡システムにすることができます。ステージ板は表面と裏面が白と黒に色分けされています。通常は、白面側（色のついた物が見やすい）を使用し、白っぽい物や透明な物を観察する時は黒面側を使用します。試料の色などの特徴に応じて使い分けると観察しやすくなります。【特徴】 ○従来品の組合せより30% 近く薄型（高さ50mm...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ミラック光学

自動XYステージ(ストローク100mm)

高精度自動XYステージを採用し、様々な検出器が搭載できる測定ユニット

自動XYステージの移動範囲は100ｍｍ×100ｍｍ。　高精度ステージを搭載した測定ユニットです。ステージ制御をＰＣで行い測定位置までの移動、駆動プログラムより動作が可能です。検出器の取付板を...

メーカー・取り扱い企業：株式会社カナデン本社

【超精密位置決めピエゾステージ】PK開口付きタイプ　XY軸

移動テーブルの中央に開口部（透過穴）を有するタイプのXY軸ステージです…

超精密位置決めピエゾステージの PK開口付きタイプXY軸ステージです。ストロークは100/100μmから300/300μm、分解能は2/2nmから6/6nmまでの５つのラインナップからお選びいただけます。移動テーブル中央に開口（透過穴）を有したラインナップです。レーザ透過用や顕微鏡･分析機器と組み合わせた微細観察、高精度マッピング測定などに適しています。 ■コンパクトから大開口まで小型デ...

メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社

注油不要！PILineピエゾモーターXY軸ステージ『U-751』

ボールねじ、ギア、その他機械部品なし、摩耗がなくメンテナンスフリー。最…

『U-751』は、従来のモーター駆動のボールベアリングステージと比べて、薄型で、設置面積はより小さくなっている PILineピエゾモーターXY軸ステージです。高さがわずか32mmという薄型で最適化されたフォームファクタと、標準化された取り付けパターンにより、PIの標準ピエゾナノポジショニングシステムとの組合わせが可能になります。【特長】 ■コンパクト ■電源オフ時...

メーカー・取り扱い企業：ピーアイ・ジャパン株式会社本社

超薄型精密XYステージ『CYAT-070』

各種装置導入後のXY軸後付けに好適！LMガイドの採用によりロングストロ…

『CYAT-070』は、2軸一体構造により、大幅な薄型化を実現する超薄型XYステージです。透過穴φ30mmをフルストロークで確保し、顕微鏡用小型XYステージとしても使用可能。薄型構造のため、各種装置導入後のXY軸後付けに好適です。また、LMガイドの採用により...

メーカー・取り扱い企業：神津精機株式会社

超薄型XYθ（アライメント）ステージ「NAF3Cシリーズ」

電動アクチュエータを同一平面上に配置した超薄型ステージ　　　　　　～ …

超薄型XYθ（アライメント）ステージ「NAF3シリーズ」は、電動アクチュエータを同一平面上に配置した超薄型ステージであり、装置全体の低重心が実現可能です。スライド部分には中間プレートを上下2枚のプレートで挟み込む「予圧型ダブルスライド」構造を採用。各プレートの間に多数のボールが配置され、スムーズな平面転がり運動を可能にしています。【特長】 ○超薄型構造・低重心 ⇒３軸...

メーカー・取り扱い企業：ヒーハイスト株式会社本社・埼玉工場

リニアボールガイド BSS/BSBシリーズ　カタログ

リニアボールガイドをタイプ別に充実したラインアップで掲載しています！

当カタログでは、手動ステージ『リニアボールガイド BSS/BSBシリーズ』をご紹介しています。本体素材はステンレス、ガイド部にゴシックアーク溝を採用し、高剛性・高精度を実現。充実したサイズ/表面処理/オプション仕様でラインアップしています。【掲載製品】 ■X軸リニアボールガイド(SS)ステージ □25 ■X軸SSステージ操作側クランプタイプ □40/□50/□60/...

メーカー・取り扱い企業：駿河精機株式会社

XYステージ使用事例　15例　事例プレゼント

手動XYステージを使った位置決めステージや、測定装置・検査治具などの事…

主に手動XYステージを使った位置決めステージや、測定装置・検査治具などの「困った！」を解決した事例をご紹介します。【掲載内容】 ○平面度検査治具 ○高さ検査治具 ○面振れ測定治具 ○外観形状検査装置...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ミラック光学

小型で25mmまでの動作量：リニアステージ M-11x型

サイズ60mm四方で、XYZ軸の組合わせが可能なコンパクトリニアステー…

【DCモータ、ステッピングモータを使用したリニアステージ】 ■トラベルレンジ：5～25mm ■最小移動量：0.2µm ■耐荷重：30N ■サイズ：60×62×20mm～ ■XY軸、XYZ軸にセットアップ可能で、真空にも対応(10^-6hPa）【コンパクトなリニアステージ、多用途】 ■ベルト駆動が折り重なったコンパクトサイズのリニアステージです ■開口部は10 mm Øです ■XYセットアップを...

メーカー・取り扱い企業：ピーアイ・ジャパン株式会社本社

P-733.2／3 XY(Z)ピエゾナノポジショニングステージ

高精度XY(Z)スキャナシリーズ（開口部付き）。高速かつ高精度のナノポ…

P-733 XYおよびXYZピエゾ駆動ステージは、高速かつ高精度のナノポジショニング／スキャニングシステムです。【特徴】 ○ストローク：XY軸方向に100 x 100μm、高さ方向に～10μm ○静電容量センサーにより分解能～0.1nmを実現 ○直動式の高速バージョン ○真空対応および非磁性バージョン ○パラレル制御によるダイナミクスの向上／多軸の精密制御 ○パラレル計測によるアクティブ軌道...

メーカー・取り扱い企業：ピーアイ・ジャパン株式会社本社

XYステージ ICF152タイプ『KXY-152』

超高真空領域での使用が可能！中空構造の2軸の可動ステージ

『KXY-152』は、中空構造の2軸（X軸・Y軸）の可動ステージです。駆動部にはマイクロメーターヘッドを用いることで±2µmでの位置決めが可能です。内部の駆動方式をベローズ方式にすることで、超高真空領域での使用可能なほか、有効内径Φ100mmを設けることが可能となる為、内部のスペースを有効に使用できます。また、オプションのモーター駆動ユニットを追加する事で、更に...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

アライメントステージ『SA』

X軸とθ軸の組み合わせやXY軸のアライメントテーブルを簡単に構築できる…

『SA』は、駆動部にダイレクトドライブ方式を採用した、低断面でコンパクトなXYθ運動を実現するアライメントステージです。直線移動用のXテーブルと、回転位置決め部であるθテーブルを基本構成としてラインアップ。X軸とθ軸の組み合わせやXY軸のアライメントテーブルを簡単に構築することが可能。また、コアレスリニアモータとリニアウェイL、クロスローラベアリングを採用し、極めて...

メーカー・取り扱い企業：藤川伝導機株式会社

XY軸エアベアリングステージ A-311型

スキャンアプリケーションや高精度の位置決めに最適※OPIE2023ポジ…

エアベアリングを備えた高精度XY平面スキャナーはフラットなデザインで積み重ねられたXYステージ。効率的でコンパクトな設計により、設置スペースが限られている機械のスペースを節約可能。・スキャンアプリケーションや高精度の位置決めに最適・クリーンルーム対応・移動範囲は300...

メーカー・取り扱い企業：ピーアイ・ジャパン株式会社本社

はんだ接合強度試験用ステージ『SJS-100N-L/S』

5°と90°で切り換えて使用！はんだ接合強度試験の基板固定用ステージの…

【SJS-100N-L　製品仕様(抜粋)】 ■用途：大きい基板固定用 ■型式：SJS-100N-L ■最大荷重値：100N ■本体重量：約3.2kg ■XYステージ移動量：±30mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社イマダ

H-840.G2IHP型　高精度ヘキサポッドステージ

お客様の声を元に、ヘキサポッドの駆動精度をより高めました！XY軸は40…

20年以上も前からヘキサポッドステージをご提供していますが、お客様の声を元に、駆動精度を高めたヘキサポッドをリリースしました！ XY軸は40 nm、Z軸は20 nmのステップ動作を可能にします。生産および測定技術における位置合わせおよび位置決めアプリケーションの最高の要求を満たすことが可能です。＜仕様＞・駆動軸　6軸・トラベルレンジ　 XY＝±50mm、Z=±25mm、θxθy＝±1...

メーカー・取り扱い企業：ピーアイ・ジャパン株式会社本社

手動XYステージ

簡易的な手動ＸＹステージ、耐荷重、ストローク長、ステージサイズなどカスタマイズ可能な低価格ステージです。...簡易的な手動ＸＹステージ、耐荷重、ストローク長、ステージサイズなどカスタマイズ可能な低価格ステージです。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社MSAファクトリー

新製品！V-857型　高負荷＆小幅＆高速リニアモーターステージ

132mmの小幅で長動作の高精度＆高速リニアモーターステージをリリース…

PI社はリニアモーター製品を拡充しています。最大1200mm、耐荷重1000Nの「V-857型」高精度＆長作動＆小幅の 1軸リニアモーターステージリリースしました。XY軸構成も可能です。【特長】・最大1000Nの耐荷重・長い移動距離（1200mmまで）で小幅形状（幅132mm）・最大速度５ m/s ・高精度インクリメンタルまたはアブソリュートリニアエンコーダ・容易にXY設置構成 ...

メーカー・取り扱い企業：ピーアイ・ジャパン株式会社本社

XY11　回転精度測定治具

ステージを活用した回転精度測定治具

ブラシレスモーターの回転精度を、静電容量変位計で計測しています。まず、変位計を据付けたベースを固定している前後左右４本のボルトを緩め、ベースごと二軸方向にずらして位置を決めた後、再度ボルトを締め付けて固定しています。変位計のヘッド部を、ブラシレスモーターに接触するわずか手前で固定する必要があるため、ボルトの締め付け時は特に慎重な作業が必要です。慎重に作業しても締め付け時に位置がずれてし...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ミラック光学

XY13　ＵＶ接着治具

Ｚ軸ステージを搭載したＵＶ接着治具

カメラモジュールの筐体と基板をＵＶ接着しています。生産するカメラモジュールの機種が変わるたびにＵＶ接着器のヘッド高さと位置の変更が必要です。このカメラモジュールの場合は、接着部とヘッドの距離が15mmになるように設定しています。ヘッド高さの変更は、ボルトを緩めてヘッドを取付けたベースを長穴に沿ってスライドさせた後、ボルトを締めて固定します。ボルトを緩めたり締めたりしなければならずと...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ミラック光学

XY14　絞り高さ検査治具

絞り高さ検査治具の改善に使用した多機能送りねじ式ステージ。

絞り加工（プレス）した製品の高さをレーザセンサで検査しています。検査する製品が変わるたびに、レーザセンサの装着された高さ調整治具の高さ設定が必要です。この治具の高さ設定は、２本のボルトを緩めてレーザセンサが固定されたプレートを上げ下げして高さを決定し、最後に２本のボルトを締めて完了します。２本のボルトは、交互に少しずつ締めなければなりません。それは、ボルト締め後に設定高さが変化すること...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ミラック光学

XY12　部品重なり検査治具

Ｚ軸ステージを活用した部品重なり検査治具

ワークが１枚ずつ搬送されているか検査しています。ワークの厚みが変わるたびに、センサーの高さ設定が必要ですが、ボルト４本で固定されているため高さ設定変更作業に時間がかかります。特に、センサーの下側にあるボルト２本は、センサー本体に近く回しづらい状況です。さらに、ボルトを締めることで設定高さがずれてしまい、やり直しをしなければならない事があります。【特徴】 ○熟練の技によるアリ溝...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ミラック光学

アライメントステージ『SA200DE』

X軸を標準設定,θ軸のトルクUPを実現！SAシリーズの200サイズをア…

『SA200DE』は、直線位置決め用のXテーブルである、SA200DE/Xを標準設定として新規追加したアライメントステージです。回転位置決め用であるSA200DE/Sと組み合わせることによって、XYθ軸の 3方向に可動する極めてコンパクトなアライメントステージを簡単に構築可能。ボールねじ駆動のステージと比較して、極めて低い断面高さを実現しています。【特長】 ■XYθ...

メーカー・取り扱い企業：藤川伝導機株式会社

コンパクトリニアステージ『U-521』

統合ピエゾセラミックダイレクト駆動！超音波ピエゾモーターを備えたリニア…

『U-521』は、アダプタープレート不要でXYコンビネーションが可能なコンパクトリニアステージです。静止時の自動ロックにより、発熱、サーボによるブレがありません。真空対応バージョンを利用可能です。研究および製造業、オートメーション、サンプルマニピュレーションなどの用途にご使用いただけます。【特長】 ■わずか35mm角高さ10mmのコンパクトサイズ ■最高速度...

メーカー・取り扱い企業：ピーアイ・ジャパン株式会社本社

エアベアリングステージ

エアステージLBTシリーズ

、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹介標準化により低コスト、短納期を実現しております。 XYステージのラインナップもございます。...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

PIMag 精密リニアステージ『V-508』

力誘導転動体保持器は保持器のクリープを防止！XYアセンブリも可能です

『V-508』は、産業と研究半導体または医療技術における測定技術、フォトニクスおよび精密スキャンに使用できるPIMag 精密リニアステージです。技術的に洗練されたコスト重視のアプリケーションは、さまざまな移動距離、ドライブ、および測定システムで同様に利用可能。XYアセンブリも可能です。クロスローラガイドの場合、ボールガイド内のボールの点接触は、硬化したローラの線接触に置き換えられます...

メーカー・取り扱い企業：ピーアイ・ジャパン株式会社本社

自動Xステージ『SXAシリーズ』

低価格とサブミクロンの送り精度を両立した位置決めステージ。高耐荷重で活…

神津精機の自動X・XYステージ『SXAシリーズ』は先駆的な製造分野で高いコストパフォーマンスを実現いたします。【こんなことでお困りではありませんか？】 ■生産ラインでたくさん使うので、出来るだけコストを抑えたい ...

メーカー・取り扱い企業：神津精機株式会社

V817型　高性能リニアモータ位置決めステージ

・63mmと薄型で、最大813ミリの動作量・リニアモータ・高性能イ…

高性能・高負荷に対応したインダストリアルデザイン循環ボールベアリングガイド、3相リニアモーター、インクリメンタルリニアエンコーダにより、優れたトラッキング性能、小さなトラッキングエラー、短いセトリングタイムを実現。オプションのモーションプラットフォームは、3つのM6ホールパターンを備え、多様なアセンブリオプションを提供します。このプラットフォームを使用しない場合、全高が63mmと低...

メーカー・取り扱い企業：ピーアイ・ジャパン株式会社本社

顕微鏡用XY自動ステージ　【導入事例　測定器との連動】

各種測定器とXYステージを連動させてワーク全体の測定を行いたい。

【ニーズ】分光器、膜厚計、接触角計、レーザー変位計などの測定器を使って、ワーク全体のデータを取得したい。【改善事例】各種測定器とXYステージを連動させて、ワーク全体の測定を自動で行います。測定器の測定開始出力、終了入力のI/O制御プログラムも簡単に作れます。測定対象、測定ピッチが変わっても、マップ形状を変更するだけで、すぐに...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ファインシス

電動アクチュエータ　EX （精密ステージ） [THK公式］

優れた応答性を実現、低イナーシャ構造を採用

THKの電動アクチュエータ精密ステージシリーズ　EX（XYステージ）は、従来型のようにサドルを使用しない構造のシンプルなXYステージです。操作部を極限まで軽量化し、各軸の慣性力を抑えることで、優れた高速応答性を実現しました。なお関連リンク先では、よ...

メーカー・取り扱い企業：ＴＨＫ株式会社

【超薄型・大開口部】高性能ピエゾステージ

低ノイズ・高分解能・高再現性のクローズドループ制御対応の高性能ピエゾス…

・移動距離最大800μm (XY)、最大300μm (Z) ・超薄型モデルあり・大きな開口部モデルあり　　・40 x 40 mm 　　・66 x 66 mm 　　・83 x 66 mm 　　・83.6 x 54 mm 　　・128.5 x 86.5 mm ・クローズドループ制御・低ノイズ、pmレベル・粗動位置調整用のマニュアルステージとのハイブリッドモデルもご提供 ...

メーカー・取り扱い企業： MSHシステムズ株式会社

多軸ステージユニット/アクセサリ　カタログ

多軸ステージユニットやアクセサリを豊富なラインアップで掲載しています！…

当カタログでは、手動ステージのユニットやアクセサリをご紹介しています。手動ステージの組み合わせ選定の手間を省いた「多軸ステージユニット」をはじめ、手動ステージ用アクセサリ「マイクロメータヘッド(保守部品)」や「送りねじ」を掲載しています。【掲載内容】 ■多軸ステージユニット ■マイクロメータヘッド（保守部品） ■送りねじ ■Z軸ブラケット ■アダプタプレート ...

メーカー・取り扱い企業：駿河精機株式会社

X417 多軸モーションシステム

産業向けアプリケーションに好適な、X417型高精度位置決めシステムは、…

お客様のご要望のトラベルレンジ、位置決め精度、軸数、オプションなど組合せが可能です。モーションコントローラ：ソフトウェアも付属するため、制御プログラムの開発に移れます。 XY軸ステージのみ、グラナイトベース付きも可能です。 XYZ軸システムにおいては、リニアサーボモータステージの構成になります。...・XY軸構成： V417型高精度位置決めステージ・トラベルレンジ：204～40...

メーカー・取り扱い企業：ピーアイ・ジャパン株式会社本社

高精度位置決めステージ｜超音波モーターステージ

SPPAアクチュエータ採用の高精度位置決めステージです。最大100mm…

「超音波モータステージ」は、最大100mm（ミリ）までをナノメートル単位で微小送り動作ができる、高精度位置決めステージです。専用コントローラと接続し、内蔵リニアスケールによるクローズドループ制御で動作します。高い位置決め再現性を求める光学実験や分析･測定機器に最適です。電磁モータ式に比べて発熱や磁場が小さいといった特長があり、真空や非磁性などの特殊環境にも対応可能です。「X...

メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社

アライメントステージ『SA…DE』

ダイレクトドライブ方式を採用！低断面でコンパクトなXYθ運動を実現

『SA…DE』は、直動案内部に小形直動案内機器のリニアウェイL、回転案内部にクロスローラベアリングを使用したアライメントステージです。ダイレクトドライブ方式のステージをフルクローズドループ制御することにより高分解能と高精度を実現。 X軸とθ軸の組み合わせやXY軸のアライメントテーブルを簡単に構築することができます。【特長】 ■コンパクトなXYθテーブル ■XY...

メーカー・取り扱い企業：日本トムソン株式会社

高性能リニアステージ『τ Linear Stage』

サーボ制御技術との融合により、制御ステージを実現！カスタムメイド対応可…

『τ Linear Stage』は、リニアサーボモータを搭載した高精度ステージです。 X/XYステージを標準ラインアップし、ダイレクトドライブモータ τDISCをθ軸として搭載したXθ/XYθステージの構築も可能。多ヘッドステージ、XYZ軸ステージ、保護カバー付きステージなど、お客...

メーカー・取り扱い企業： CKD日機電装株式会社