エアベアリング ステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

【超薄型・大開口部】高性能ピエゾステージ

低ノイズ・高分解能・高再現性のクローズドループ制御対応の高性能ピエゾス…

・移動距離 最大800μm (XY)、最大300μm (Z) ・超薄型モデルあり ・大きな開口部モデルあり 　　・40 x 40 mm 　　・66 x 66 mm 　　・83 x 66 mm 　　・83.6 x 54 mm 　　・128.5 x 86.5 mm ・クローズドループ制御 ・低ノイズ、pmレベル ・粗動位置調整用のマニュアルステージとのハイブリッドモデルもご提供 ...

メーカー・取り扱い企業： MSHシステムズ株式会社