エアベアリング ステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

極低～高温用温度別低熱膨張材『LEXシリーズ』

極低温から高温まで幅広いラインナップ！熱膨張特性をカバーする新素材

）成形型や 真空ポンプ部品、レーザ機器部品等、幅広い分野で高い評価を得ています。 【主な製品】 ■超精密研摩装置用定盤 ■半導体製造装置用CFRP金型 ■レーザ計測器フレーム ■XYステージ ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 日本鋳造株式会社