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PRエアステージLBTシリーズ
エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...
メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社
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マッピングソフトにより作業効率をアップ！顕微鏡用ＸＹ自動ステージ
顕微鏡、マイクロスコープ観察、検査用に最適化したソフトウェアを搭載しています。 ■マッピング機能 ステージの移動範囲をマップ状に表示し、移動したいセルに瞬時に移動したり、ワークをセル単位で順次送っていくインデックス送り機能があります。 拡大視野のイメージ結合に最適です。 また、観察、検査後のレポート作成をサポートするために、コメント入力、取り込んだ観察画像とのリンク、レポート出力機能な...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ファインシス
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エアステージLBTシリーズ
、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹介 標準化により低コスト、短納期を実現しております。 XYステージのラインナップもございます。...
メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社
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0.1μmの追従性を実現する『RSTアライナー』と薄型・小型の省スペー…
【RSTアライナー】 ■最大の特徴である駆動ユニットのバランスの取れた正三角形配置がアライメントに必須の超高精度な微少駆動を可能に ■リニアスケール等のフィードバックを掛けずに0.1μm±20nmの高い追従性を実現 ■ベアリングを使用していない為、大口径の透過穴が実現可能 ■ウエハサイズやワークサイズに合わせ、テーブルサイズも自在 ■貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加可能 ■高...
メーカー・取り扱い企業： 神津精機株式会社
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優れた応答性を実現、 低イナーシャ構造を採用
THKの電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ EX（XYステージ）は、従来型のようにサドルを使用しない構造のシンプルなXYステージです。操作部を極限まで軽量化し、各軸の慣性力を抑えることで、 優れた高速応答性を実現しました。 なお関連リンク先では、よ...
メーカー・取り扱い企業： ＴＨＫ株式会社
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電動アクチュエータ A/AX （精密ステージ） [THK公式］
高精度でバリエーションが豊富 さまざまな用途に対応可能
THKの電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ A/AX（1軸/XY）は、同じストロークの従来型と比べ高さ寸法最大約27％のコンパクト化を実現しました。鉄使用とアルミ仕様とあり、用途に合わせて選定が可能です。アルミ仕様の場合は、従来型と比べて、本体質量最大約72％のダウンも実現しました。 なお関連リンク先では、より、詳細な製品説明をはじめ、製品カタログ、取扱説明書、仕様図・寸法表、２DC...
メーカー・取り扱い企業： ＴＨＫ株式会社
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電動アクチュエータ CMX （精密ステージ） [THK公式］
画期的なモジュール構造を採用した超薄形ステージ（特許取得済）
THKの電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ CMX（アライメントステージ）は、トップテーブルサイズ1500m×1500mの大型ステージを標準化することで大型ワークに対応、サドルレスの軽薄機構により超薄型・軽量化も実現しました。 さらに中抜き構造であるため、光学式検査装置や導通テスタに採用されております。その他、FPD製造・検査装置、半導体製造装置・検査装置、スクリーン印刷機・マスク検査装...
メーカー・取り扱い企業： ＴＨＫ株式会社
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高剛性かつ高さをおさえて低いスペースでも対応可能
THKの電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ DX（中抜きXYステージ）は、高剛性かつ高さの低い中抜きXYステージです。各軸と案内中心と送りボールねじの駆動中心を同一高さの配置構造とすることで、 姿勢変化を少なくすることができ、高精度な位置決めが可能です。 ...
メーカー・取り扱い企業： ＴＨＫ株式会社
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