XYステージ | イプロスものづくり

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応ストロークは50ｍｍ～500ｍｍエンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

【顕微鏡検査】開口付　高精度XY軸ピエゾモーターステージ

厚さ32mm、分解能0.1µm、XY：25mm動作範囲　開口付ピエゾモ…

U-751　開口付ステージは、顕微鏡検査における自動位置決めアプリケーション用に設計されたものです。【特徴】 ○内蔵のクローズドループピエゾモーター駆動により、100mm/sの高速化を実現 ○ストローク：25×25mm ○分解能0.1μmのリニアエンコーダを内蔵 ○コンパクトな設計：断面高さ32mm、設置面積170×170mm ○センター開口部：78×78mm、66×66mm（最大拡大時） ○静...

メーカー・取り扱い企業：ピーアイ・ジャパン株式会社本社

XYテーブル・XYステージ「ドライリン」：無給油、高効率

完全無潤滑で耐食性に優れ、高剛性。位置決めに最適。

イグスのXYテーブル・XYステージ「ドライリン」は、送りねじ駆動のスライドテーブルを組合わせたものです。手動またはモータ駆動が可能で、高性能樹脂製スライド部の滑りで動作するため、完全無潤滑で耐食性に優れます。 - 100%...

メーカー・取り扱い企業：イグス株式会社

P-733.2／3 XY(Z)ピエゾナノポジショニングステージ

高精度XY(Z)スキャナシリーズ（開口部付き）。高速かつ高精度のナノポ…

P-733 XYおよびXYZピエゾ駆動ステージは、高速かつ高精度のナノポジショニング／スキャニングシステムです。【特徴】 ○ストローク：XY軸方向に100 x 100μm、高さ方向に～10μm ○静電容量センサーにより分解能～0.1nmを実現 ○直動式の高速バージョン ○真空対応および非磁性バージョン ○パラレル制御によるダイナミクスの向上／多軸の精密制御 ○パラレル計測によるアクティブ軌道...

メーカー・取り扱い企業：ピーアイ・ジャパン株式会社本社

電動アクチュエータ　EX （精密ステージ） [THK公式］

優れた応答性を実現、低イナーシャ構造を採用

THKの電動アクチュエータ精密ステージシリーズ　EX（XYステージ）は、従来型のようにサドルを使用しない構造のシンプルなXYステージです。操作部を極限まで軽量化し、各軸の慣性力を抑えることで、優れた高速応答性を実現しました。なお関連リンク先では、よ...

メーカー・取り扱い企業：ＴＨＫ株式会社

高精度位置決めステージ｜超音波モーターステージ

SPPAアクチュエータ採用の高精度位置決めステージです。最大100mm…

「超音波モータステージ」は、最大100mm（ミリ）までをナノメートル単位で微小送り動作ができる、高精度位置決めステージです。専用コントローラと接続し、内蔵リニアスケールによるクローズドループ制御で動作します。高い位置決め再現性を求める光学実験や分析･測定機器に最適です。電磁モータ式に比べて発熱や磁場が小さいといった特長があり、真空や非磁性などの特殊環境にも対応可能です。「X...

メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社

GMT社製『リニアモーション部品・精密手動ステージ』カタログ進呈

高品質・短納期。リニアガイドをはじめ、位置決めステージなど各種ラインア…

当社では、台湾・GMT社製の『リニアモーション部品・精密手動ステージ』をはじめとした、高品質の機構部品を幅広く取り揃えております。また、短納期での納品対応が可能で、リニアガイドは3ヵ月以内での納品を実現しております。（※2018年5月現在）ただいま、「ミニチュアリニアガイド」をはじめとした、取扱製品のカタログを進呈中です！【現在配布中のカタログ】 ◎サポートユ...

メーカー・取り扱い企業：千代田交易株式会社

アクチュエータ/ＸＹステージ　総合カタログ

NanoAutomation(R)：化学・産業向け精密位置決め。ハイテ…

PIは現在、重要なハイテク市場のすべてにマイクロ／ナノポジショニング・ソリューションを提供しています。【特徴】カタログ内容紹介 ○会社概要 ○ピエゾアクチュエータ＆コンポーネント ○ピエゾフレクシャーステージ/高速スキャニングシステム ○高速ステアリングミラー/アクティブオプティクス ○PiezoWalk(R)モーター/アクチュエータ ○リニア、ハイブリッドステージ ...

メーカー・取り扱い企業：ピーアイ・ジャパン株式会社本社

PIHera高精度ステージ P-620.Z－P-622.Z

最終段位置計測と長いストロークを特徴とするナノポジショニングシステムシ…

Z軸PIHera(R)システムは、ストロークが最大400μm、サブナノメートルの分解能を提供する、低価格のピエゾナノポジショニングステージです。【特徴】 ○垂直ストローク：50～400μm ○高精度、低コスト ○0.1nmの分解能 ○静電容量センサーを内蔵 ○0.02%の位置決め精度 ○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる...

メーカー・取り扱い企業：ピーアイ・ジャパン株式会社本社

P-611.ZピエゾZステージ

コンパクトナノポジショナー。クローズドループストローク100μmを特徴…

P-611.Zステージは、設置面積がわずかに44 x 44mm、クローズドループストローク100μmを特徴とする、ピエゾベースのナノポジショニングシステムです。【特徴】 ○コンパクト設計：設置面積はわずか44 x 44mm ○ストローク～120μm ○分解能～0.2nm ○低コストの機構／電子システム構成 ○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによ...

メーカー・取り扱い企業：ピーアイ・ジャパン株式会社本社

超小型精密ステージ

・低価格・超小型・超軽量・バックラッシュ無し・貫通取り付け穴のスライダー・X、XY、XYZ、XZ の組み合わせ自由...ナショナルアパチャー社の超小型精密ステージ ”MicroMini”は、現在市場で購入できる最も小さな、そしてサブミクロンのレゾリューションを持ったステージです。これらのステージは、前述のピンホールアパチャーの位置だしの他、一般的な...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キーストンインターナショナル

電動アクチュエータ　A/AX （精密ステージ） [THK公式］

高精度でバリエーションが豊富　さまざまな用途に対応可能

THKの電動アクチュエータ精密ステージシリーズ　A/AX（1軸/XY）は、同じストロークの従来型と比べ高さ寸法最大約27％のコンパクト化を実現しました。鉄使用とアルミ仕様とあり、用途に合わせて選定が可能です。アルミ仕様の場合は、従来型と比べて、本体質量最大約72％のダウンも実現しました。なお関連リンク先では、より、詳細な製品説明をはじめ、製品カタログ、取扱説明書、仕様図・寸法表、２DC...

メーカー・取り扱い企業：ＴＨＫ株式会社

XＹθステージ　NAF3シリーズ

電動アクチュエータを平面上に配置した超薄型ステージ

スライド部分には中間プレートを上下2枚のプレートで挟み込む「予圧型ダブルスライド」構造を採用。各プレートの間に多数のボールが配置され、スムーズな平面転がり運動を可能にしています。また3つのアクチュエータを同一平面上に配置した為、低重心・超薄型シンプル構造を実現。装置の小型化に貢献します。...【特徴】 ○3つのアクチュエータを同一平面上に配置することにより超薄型シンプル構造を実現。 ○「予...

メーカー・取り扱い企業：ヒーハイスト株式会社本社・埼玉工場

高精度直動アクチュエータ『ミリオンアクチュエータ』

従来比３倍の繰返し精度！位置決め精度±１μｍを実現した高精度アクチュエ…

『ミリオンアクチュエータ』は、位置決め精度 ±1μmを実現したリニアアクチュエーターです。ガイド部にローラー式ミリオンガイドを採用しているため、他社ボールガイド採用のアクチュエータと比べ、剛性が 10 倍以上!また、振動も少なくなめらかなため、XY 方向繰り返し精度も3倍以上！ステッパーなど、各種光学機器のレンズ・ミラー移動や微少角度調整、カメラ・センサの位置調整といった微調整用途に最適です。 ...

メーカー・取り扱い企業：アイセルグループ株式会社

電動アクチュエータ　CMX （精密ステージ） [THK公式］

画期的なモジュール構造を採用した超薄形ステージ（特許取得済）

THKの電動アクチュエータ精密ステージシリーズ　CMX（アライメントステージ）は、トップテーブルサイズ1500m×1500mの大型ステージを標準化することで大型ワークに対応、サドルレスの軽薄機構により超薄型・軽量化も実現しました。さらに中抜き構造であるため、光学式検査装置や導通テスタに採用されております。その他、FPD製造・検査装置、半導体製造装置・検査装置、スクリーン印刷機・マスク検査装...

メーカー・取り扱い企業：ＴＨＫ株式会社

『ピエゾモーター・アクチュエーター』

小型で高出力！精密に長時間位置を保持する製品を多数ラインアップ！

の精密モーターは、スピードも 15nm/secから20mm/secまで幅広い設定が可能です。停止時のバックラッシュや電源オフにおける脱調がなく、モーターを使用しロータリーステージ、XYステージを始め、ミラーマウントに取り付けられるプラムアクチュエーターなど精密に長時間位置を保持する製品を数多く取り揃えております。【特長】 ■小型で高出力 ■長ストロークの精密モータ...

メーカー・取り扱い企業：オーテックス株式会社

クイーンズゲイト製品（ピエゾ）総合カタログ

サブナノメータの分解能をはじめ、高い精度が必要となるご用途に好適！

当カタログは様々なナノポジショニング製品・システムを開発・販売しているクイーンズゲイト社の製品について紹介しています。ピエゾ駆動のZステージやXYステージ、静電容量センサー、ピエゾアクチュエータ等、取り扱い製品例を掲載。これら製品の持つ性能・仕様も、グラフと共に説明しています。サブナノメータの分解能をはじめ、高い精度が必要となるご用途に好...

メーカー・取り扱い企業：プライアー・サイエンティフィック株式会社

電動アクチュエータ　DX （精密ステージ） [THK公式］

高剛性かつ高さをおさえて低いスペースでも対応可能

THKの電動アクチュエータ精密ステージシリーズ　DX（中抜きXYステージ）は、高剛性かつ高さの低い中抜きXYステージです。各軸と案内中心と送りボールねじの駆動中心を同一高さの配置構造とすることで、姿勢変化を少なくすることができ、高精度な位置決めが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業：ＴＨＫ株式会社

PIHeraピエゾリニアステージP-620.1～P-629.1

ストロークの長い、コンパクトなナノポジショニングシステムシリーズ。スト…

単軸のPIHera(R)システムは、ストローク50～1800μmのピエゾナノポジショニングステージです。【特徴】 ○ストローク50～1800μm ○高精度、低コスト ○0.1nmの分解能 ○静電容量センサーを内蔵 ○0.02%の位置決め精度 ○摩擦のない高精密フレクシャガイドシステム ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ○X、XY、Z、XYZバージョ...

メーカー・取り扱い企業：ピーアイ・ジャパン株式会社本社

超小型・高精度アクチュエータ『ミリオンアクチュエータ　20角』

【超小型版が新登場】当社比で58％のスペース削減を実現！繰り返し位置決…

当社比で58％のスペース削減を実現した”20mm角サイズ”の超小型版が新登場！！『ミリオンアクチュエータ』は、位置決め精度 ±1μmを実現したリニアアクチュエーターです。ガイド部にローラー式ミリオンガイドを採用しているため、他社ボールガイド採用のアクチュエータと比べ、剛性が 10 倍以上!また、振動も少なくなめらかなため、XY 方向繰り返し精度も3倍以上！ステッパーなど、各種光学機器のレン...

メーカー・取り扱い企業：アイセルグループ株式会社

P-611.1ピエゾナノポジショナー

低価格で、設置面積わずか44 x 44mmのコンパクトな、リニアポジシ…

P-611.1ピエゾステージは、設置面積わずか44 x 44mmのフレクシャガイドナノポジショニングシステムです。【特徴】 ○コンパクト設計：設置面積わずか44 x 44mm ○ストローク～120μm ○分解能～0.2nm ○低コストの機構／電子システム構成 ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ○Zステージ、XY、XZ、およびXYZバージョンを用意 ●詳しくはお問い...

メーカー・取り扱い企業：ピーアイ・ジャパン株式会社本社