ピーアイ・ジャパン株式会社【顕微鏡検査】開口付　高精度XY軸ピエゾモーターステージ

最終更新日：2022-11-24 11:16:50.0
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厚さ32mm、分解能0.1µm、XY：25mm動作範囲　開口付ピエゾモーターステージ

U-751　開口付ステージは、顕微鏡検査における自動位置決めアプリケーション用に設計されたものです。
【特徴】
○内蔵のクローズドループピエゾモーター駆動により、100mm/sの高速化を実現
○ストローク：25×25mm
○分解能0.1μmのリニアエンコーダを内蔵
○コンパクトな設計：断面高さ32mm、設置面積170×170mm
○センター開口部：78×78mm、66×66mm（最大拡大時）
○静止時に自動ロック
○PIピエゾナノポジショニング／スキャニングステージに適合

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基本情報【顕微鏡検査】開口付　高精度XY軸ピエゾモーターステージ

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型番・ブランド名	U-751.24型
用途／実績例	応用例・バイオテクノロジー・顕微鏡による検査・走査型顕微鏡・共焦点顕微鏡・半導体試験・ハンドリング