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PI社　ヘキサポッド一覧カタログ

PI社：ヘキサポッド位置決めシステムのグローバルカンパニー・高精度ヘキサポッド位置決めステージ一覧

PI社のヘキサポッド6軸ステージは、40年以上前から、ピエゾステージ同様に独自開発・自主生産をしており、ピエゾ位置決め製品と同様にヘキサポッドでもマーケットリーダーです。＜ヘキサポッドの特徴＞…
【7つの応用事例】ヘキサポッド6軸位置決めシステム

積み重ね多軸ステージとの比較解説・7つの応用事例・ヘキサポッドの簡易比較表

PI社のヘキサポッド6軸ステージは、40年以上前から、ピエゾステージ同様に独自開発・自主生産をしており、ピエゾ位置決め製品と同様にヘキサポッドでもマーケットリーダーです。＜ヘキサポッドの特徴＞…
グラナイト専門メーカのピー・ヂー・ダブリューがPIグループに！

極めて高い石の研磨技術を有し、大型で高精度なグラナイトを必要とするFPD業界を中心に、装置の土台や定盤、治具等を製造しています。

ピー・ヂー・ダブリュー株式会社（以下PGW）は、 1997年に石（グラナイト）を用いた石定盤や治具など石材加工の専業メーカとして創業。極めて高い石の研磨技術を有し、大型で高精度なグラナイトを必要…
パラレルキネマティック・ヘキサポッド H-811

コンパクトながら高精度なリファレンスクラスの6軸位置決めシステム

※OPIE2023ポジショニングEXPO出展製品 4/19-21 パシフィコ横浜 6軸自由度を持つパラレルキネマティックデザインで、単軸キネマティックシステムよりもコンパクトで剛性が強いヘキサポ…
小型で25mmまでの動作量：リニアステージ M-11x型

サイズ60mm四方で、XYZ軸の組合わせが可能なコンパクトリニアステージ

【DCモータ、ステッピングモータを使用したリニアステージ】 ■トラベルレンジ：5～25mm ■最小移動量：0.2µm ■耐荷重：30N ■サイズ：60×62×20mm～ ■XY軸、XYZ軸にセットアッ…
V817型　高性能リニアモータ位置決めステージ

・63mmと薄型で、最大813ミリの動作量・リニアモータ・高性能インクリメンタルエンコーダーを内蔵

高性能・高負荷に対応したインダストリアルデザイン循環ボールベアリングガイド、3相リニアモーター、インクリメンタルリニアエンコーダにより、優れたトラッキング性能、小さなトラッキングエラー、短いセ…
X417 多軸モーションシステム

産業向けアプリケーションに好適な、X417型高精度位置決めシステムは、高速＆高精度ソリューションを提供します

お客様のご要望のトラベルレンジ、位置決め精度、軸数、オプションなど組合せが可能です。モーションコントローラ：ソフトウェアも付属するため、制御プログラムの開発に移れます。 XY軸ステージのみ、…
H-840.G2IHP型　高精度ヘキサポッドステージ

お客様の声を元に、ヘキサポッドの駆動精度をより高めました！XY軸は40 nm、Z軸は20 nmのステップ動作を可能に

20年以上も前からヘキサポッドステージをご提供していますが、お客様の声を元に、駆動精度を高めたヘキサポッドをリリースしました！ XY軸は40 nm、Z軸は20 nmのステップ動作を可能にします。 …
シリコンフォトニクス・光学アライメントにお薦め！９軸精密駆動

任意に回転中心が変更可能！ピエゾの併用でナノオーダーの位置決め可能！

大容量化、高速化を求める世界のデータ需要を満たすうえで、シリコンフォトニクス（SiP）は不可欠な技術です。《PI社の革新的な産業技術が、その実現に貢献します》 PI社のオートメーションサブシステ…
ベッドサイズヘキサポッド　位置決めステージ

放射線治療のための患者様を正確に6軸位置決めが可能

長方形のベッド型ヘキサポッドデザイン。 PIの多軸モーションおよびポジショニングソリューションヘキサポッド（ギリシャ語で6本の脚に由来）は、6つのアクチュエータ（支柱）によって制御されるモーションプ…
【応用事例：高精度ヘキサポッドシステム】ALMA望遠鏡の副反射鏡

ALMA天文台の50基のアンテナに採用！低気圧、最大50度の温度差、強風、埃、雨、海抜5000メートルという過酷な環境条件に適合

ピーアイ・ジャパン株式会社が取り扱う製品を応用した事例をご紹介します。 ALMA天文台の50基のアンテナは、当社の「高精度ヘキサポッド」を使用。アタカマ砂漠の過酷な環境条件の下、電波望遠鏡の…
ボイスコイル駆動　Z軸フォーカスステージ

ピエゾより長作動＆高負荷のボイスコイル駆動フォーカスステージ！1mm以上の高速＆高負荷＆高精度フォーカスを必要とするお客様に！

PI社は、ボイスコイル駆動の対物レンズ駆動フォーカスステージをリリースしました。数百µmレベルのピエゾを用いた対物ピエゾ位置決めステージPIFOCは、世界中のお客様に多くご使用されていますが、近…
最大800µm動作の精密位置決め用　対物レンズピエゾステージ

対物レンズ　精密位置決めステージ充実した機能・高性能なPI社の対物レンズピエゾステージ

30年以上前から提供していますPI社対物ピエゾステージは、世界中のお客様にご使用されています。今回、装置構造を見直し、以前より高剛性で、ロングレンジ駆動を可能にしました。また扱いやすさも向上さ…
PI社　精密対物レンズ位置決めステージ

私たちの対物レンズピエゾ位置決めステージは、顕微鏡を用いた生体観察、スキャニング解析、干渉計測など多く利用されています。

通常フォーカス合わせには、手動で合わせる場合やモーターを利用した自動制御がありますが、使用する光（波長）やフォーカス速度、駆動動作方法によっては十分に満足できなことがあります。高精度な画像認識…
最大8度のボイスコイル駆動TipTiltミラーステージ

衛星通信・ビーム安定化などのアプリケーションに最適な大角度駆動が可能なステージです。

※ビームの偏向角度　最大 8° ※共通の回転中心を持つ直交する2つのチップ/チルト軸 ※パラレルキネマティクスによる両軸の同一動特性 ※コンパクトなデザイン ※フレクシャーによる高耐久性と無摩擦 ※リ…
A-63xシリーズ　高精度エアベアリング回転ステージ

薄型で、駆動面積と耐荷重の違いで4種類のサイズ違いがあり、エンコーダーも2種類対応の高精度エアベアリング回転ステージです。

エアベアリング回転ステージは、エア浮上ガイドのため一般的なメカニカルガイドによる摩擦や部品精度の影響を受けません。そのためスティックスリップ、摩擦熱がなく、高速駆動で、高い平坦度＆わずかな偏芯…
A-688型　エアベアリング大開口回転ステージ

薄型で最大260mmの開口を持つ高精度エアベアリング回転ステージ。一般的なメカニカルガイドによる摩擦や部品精度の影響を受けません

エアベアリング回転ステージは、エア浮上ガイドのため一般的なメカニカルガイドによる摩擦や部品精度の影響を受けません。そのためスティックスリップ、摩擦熱がなく、高速駆動で、高い平坦度＆わずかな偏芯…
新製品！薄型エアベアリング Z Tip/Tilt ステージ

1枚の薄型プラットフォームで、3軸動作可能な高精度エアベアリングステージをリリース！

PI社は、エアベリング位置決め製品を拡充しています！パラレルキネマティック方式設計による「A-523型：エアベアリング　Z軸、チップ/チルトの3軸駆動ステージ」をリリースしました。薄型設計で…
レーザー光の微細ステアリングに好適品！チップチルトピエゾステージ

・医療、機械、天体など幅広い用途！・ピエゾによる高精度＆高速駆動・高剛性で摩耗のないフレクシャガイド

・チップチルト角5mrad/光偏向角10mrad(0.57°）・パラレル制御設計によるダイナミクス、安定性、およびリニアリティの向上・最大12.7mmのミラー用・ハイリニアリティの位置センサー内…
XY軸エアベアリングステージ A-311型

スキャンアプリケーションや高精度の位置決めに最適※OPIE2023ポジショニングEXPO出展製品 4/19-21 パシフィコ横浜

エアベアリングを備えた高精度XY平面スキャナーはフラットなデザインで積み重ねられたXYステージ。効率的でコンパクトな設計により、設置スペースが限られている機械のスペースを節約可能。・スキャ…
PI社製　超高速ステアリングミラーピエゾ

小型・摩耗無し・スキャニングに好適！静的動作や、ハイダイナミクス動作（スキャン、トラッキング、ドリフト、振動キャンセル）などに

PI社の超高速ステアリングミラーピエゾステージは、コンパクト設計で、摩擦のないフレクシャーガイド、高速応答のピエゾ駆動、フィードバックセンサーにて構成されており、1つのピボットポイントにより、 1…
新製品！V-857型　高負荷＆小幅＆高速リニアモーターステージ

132mmの小幅で長動作の高精度＆高速リニアモーターステージをリリース！

PI社はリニアモーター製品を拡充しています。最大1200mm、耐荷重1000Nの「V-857型」高精度＆長作動＆小幅の 1軸リニアモーターステージリリースしました。XY軸構成も可能です。【特長…
新製品！V-855型小幅＆高速リニアモーターステージ

100mmの小幅で長動作の高精度＆高速リニアモーターステージをリリース！

※OPIE2023ポジショニングEXPO出展製品 4/19-21 パシフィコ横浜 PI社はリニアモーター製品を拡充しています。最大1200mm、耐荷重600Nの「V-855型」高精度…
ACS社製モータステージ用モーションコントロールシステム

産業機械、半導体設備など、高精度に多軸モーションコントロールを必要とするお客様に最適

・高精度　最大64ch多軸同期モーション・高度で高速なサーボ制御アルゴリズム・EtherCATベースのユニバーサルサーボドライブ設計・レーザーアプリケーションに適したトリガー機能
小型精密位置決めステージ

場所を取らずに高精度位置決め可能！小型ステージのご紹介！

スペースが限られているアプリケーションでは、小さなステージやアクチュエータが不可欠です。PI社のコンパクト精密位置決め製品は、様々なアクチュエータやセンサーを用いて製品ごとに特長を持たせたモノづくりを…
F-712.PM1型光学パワーメーター

・20KHzの信号帯域幅・ハイダイナミクスレンジ・周波数レンジ：400-1550nm ・入力電流レンジ：~1mA

この光パワーメータは、光信号を高分解能かつ極めて高帯域幅の電圧信号に変換することが可能です。ファイバ入力の代替として、外部からの電流入力も可能で、フォトダイオードを接続し、ダイオード電流を変換…
コンパクト高性能E-709デジタルコントローラ

コストパフォーマンスに優れた高性能コントローラー静電容量センサー内蔵　単軸ナノポジショニングシステム向き

・アプリケーションに最適化なダイナミクス動作・コンフィグレーションオプション・大きな安全性とモニタリング機能・リニアリティエラー︓最大 0.01 % ■インターフェース：アナログ入出力、USB…
ピエゾベースの対物フォーカスドライブシリーズ

2光子（3光子）蛍光顕微鏡・デジタルスライドスキャン・ウェーハ検査に最適なピエゾステージ。≤18μm～7mmまでのトラベルレンジ

ピエゾを用いたレバー増幅型の垂直軸は、約20年前からこの課題に対する標準的なソリューションとして証明されています。 PIのコンパクトな対物ポジショナーの幅広いポートフォリオは、このたび完全に再設…
高速フォトニクスアライメントシステム　F-712.HU1型　

最先端アライメントに最適! 多軸&高速＆高精度を合わせ持ったヘキサポッドとピエゾステージの統合位置決めシステム！

＜高速＆高精度駆動＞この9軸アライメントシステムは、H-811型ヘキサポッドとP-616型ピエゾナノポジショナーを統合した高剛性システムです。 ※ヘキサポッドは、6本脚が1枚の駆動面を支える…
最高0.1μmの再現性！高精度リニアステージ 1軸ステージ

歪みのないアルミニウムベースで高度の安定性を実現可能！ドイツ製ならではの高スペック！

『VT-80/L-406/L-509/M-404/L-511』は、産業および研究分野での精密な位置決めに使用できる高精度リニアステージ 1軸ステージです。クロスローラーガイドによる高トラベ…
メカニカルリミットスイッチ内蔵・ゴニオメータステージ

メカニカルリミットスイッチ内蔵！光学式角度スケールシステムと2つのリミットスイッチが装備。非常に静かで滑らかな動作が可能です。

『WT-90』は、限られたスペース条件により従来の回転ステージが使用できなかったすべてのタスクのために設計されているゴニオメーターモーターステージです。典型的な使用アプリケーションはレ…
高耐荷重リニアステージ『L/V-412,L/V-417』

最大トラベルレンジは813mm！循環式ボールベアリング採用により450Nまで耐可

『L/V-412,L/V-417』は、エンコーダの高解像度により、性能ごとのトラッキングが向上するPIMag 高耐荷重リニアステージです。トラッキングエラーが少なくなり、整定時間が短縮。最大限…
PIMag 高精度開口部付XY ステージ『V-738』

高分解能インクリメンタルリニアエンコーダ！一方向再現性は0.1μmです

『V-738』は、モータタイプがアイロンレス3相リニアモータで、 150x150mmの大きな開口部が特長のPIMag 高精度開口部付XY ステージです。移動範囲は、102 mm×102 mm…
PIMag 精密リニアステージ『V-508』

力誘導転動体保持器は保持器のクリープを防止！XYアセンブリも可能です

『V-508』は、産業と研究半導体または医療技術における測定技術、フォトニクスおよび精密スキャンに使用できるPIMag 精密リニアステージです。技術的に洗練されたコスト重視のアプリケーションは、…
PIMag リニアステージ『V-408』

アイロンコア3相リニアモータ！駆動力を摩擦プラットフォームに伝達するコンパクト設計のPIMag リニアステージ

『V-408』は、3相の磁気ダイレクトドライブはドライブトレイン内で機械部品を使用しないため、駆動力を摩擦プラットフォームに伝達するPIMag リニアステージです。クロスローラーガイド…
PILine ピエゾモーター顕微鏡用XY軸ステージ『U-780』

0.1μmの分解能！熱負荷が低く潤滑も不要なため、高い水準の安定性。最大135mm×85mmのトラベルレンジ

『U-780』は、静止時にセルフロックし、低ノイズな PILine ピエゾモーター顕微鏡用XY軸ステージです。熱負荷が低く潤滑も不要なため、高い水準の安定性。 10μm/sから120m…
注油不要！PILineピエゾモーターXY軸ステージ『U-751』

ボールねじ、ギア、その他機械部品なし、摩耗がなくメンテナンスフリー。最大5gまで高加速。最高速度500mm/s

『U-751』は、従来のモーター駆動のボールベアリングステージと比べて、薄型で、設置面積はより小さくなっている PILineピエゾモーターXY軸ステージです。高さがわずか32mmという薄…
PILine XYステージ『U-723』

高精度でプラットフォームの位置を直接測定！ステージの位置が機械的に安定するように維持します。

『U-723』は、電源オフ時、セルフロッキングドライブにより、ステージの位置が機械的に安定するように維持されるPILine XYステージです。電力消費と発熱量が大幅に削減。こうした特性は、デュー…
PILine 高速・薄型回転ステージ『U-651』

内蔵のインクリメンタルエンコーダーは最大4μ radの分解能！精密な位置コントロールを行います

『U-651』は、精密回転ステージにPILine超音波ピエゾモーターを採用しており、このモーターがセラミック製摩擦リングに作用してプラットフォームを駆動させるPILine 高速・薄型回転ステー…
範囲に制限なしの高速小型回転ステージ『U-628』

精密クラスの回転ステージ！オプションで真空バージョンも取り扱っております。リファレンスポイントスイッチで中央の開口部は直径7mm

※OPIE2023ポジショニングEXPO出展製品 4/19-21 パシフィコ横浜『U-628』は、直接測定用に光学エンコーダを内蔵し、範囲に制限はない高速小型回転ステージです。リフ…
モーションコントローラとドライバのメーカACS社　製品カタログ

当社のステージとACS社製のコントローラの優れたコンビネーション！加工機、半導体・FPD 製造　検査装置やロボット、学術研究など

当カタログは、モーションコントローラとドライバの大手メーカー ACS社製の製品を多数掲載した製品カタログです。パワフルでユニバーサルなモーションコントローラ「SPiiPlusEC」をはじめ、…
コンパクトリニアステージ『U-521』

統合ピエゾセラミックダイレクト駆動！超音波ピエゾモーターを備えたリニアステージ。研究および製造業、オートメーションなどの用途に

『U-521』は、アダプタープレート不要でXYコンビネーションが可能なコンパクトリニアステージです。静止時の自動ロックにより、発熱、サーボによるブレがありません。真空対応バージョンを利…
高速チップ・チルトピエゾミラーステージ『S-335』

小型パッケージながら大きな偏向角が可能！歪みセンサによる高リニアリティ！幅広い温度範囲に渡り、ダイナミクスと位置の安定性を実現

『S-335』は、小型パッケージながら、大きな偏向角が可能な高速チップ・チルトピエゾミラーステージです。独立駆動の2ペアのピエゾアクチュエータにより、幅広い温度範囲に渡り、ダイナミクスと位置の…
XYZ軸ピエゾステージ『P-611.3/P-616』

パラレルメカニズムのため3軸とも同一性のあるダイナミック特性！

『P-611.3/P-616』は、すぐれた分解能と高速応答ができる NanoCubeU(R)XYZ軸ピエゾステージです。コスト効率の高いメカニクス／エレクトロニクスシステム構造。歪みゲージセン…
PICMAWalk ウォーキングドライブ『N-331』

55mm角のコンパクトなシリーズ！PICMA技術による堅牢なウォーキングドライブ！

『N-331』は、最大5kgの荷重を正確かつナノメートルで正確に位置決めできるウォーキングドライブです。プッシュプルフォース(active)最大50N、ホールディングフォース(passive)…