高速チップ・チルトピエゾミラーステージ『S-335』ピーアイ・ジャパン

小型パッケージながら大きな偏向角が可能！歪みセンサによる高リニアリティ！幅広い温度範囲に渡り、ダイナミクスと位置の安定性を実現

『S-335』は、小型パッケージながら、大きな偏向角が可能な
高速チップ・チルトピエゾミラーステージです。

独立駆動の2ペアのピエゾアクチュエータにより、幅広い温度範囲に渡り、
ダイナミクスと位置の安定性を実現。

また、内蔵されている高分解能のフルブリッジ歪みゲージセンサ(SGS)が、
絶対位置制御、すぐれた再現性を可能にします。

【特長】
■チップ／チルト角35mrad、光偏向角70mrad(～4°)
■歪みセンサによる高リニアリティ
■ダイナミックモーションと高速ステップアンドセトリングの高い共振周波数
■パラレルキネマティック設計によるダイナミクスの向上
■小型パッケージながら、大きな偏向角が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報高速チップ・チルトピエゾミラーステージ『S-335』

【その他の特長】
■すぐれた動き特性による大きなチップ／チルトレンジ
■サブマイクロラジアンの分解能
■高い信頼性と長寿命

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯	お問い合わせください
納期	お問い合わせください
用途／実績例	【用途】 ■画像処理 ■インターレーシング、ディザリング ■レーザースキャニング／ビームステアリング ■光学 ■光学フィルター／スイッチ ■走査型顕微鏡　など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。