高速フォトニクスアライメントシステム　F-712.HU1型　ピーアイ・ジャパン

最先端アライメントに最適! 多軸&高速＆高精度を合わせ持ったヘキサポッドとピエゾステージの統合位置決めシステム！

＜高速＆高精度駆動＞
この9軸アライメントシステムは、H-811型ヘキサポッドとP-616型ピエゾナノポジショナーを統合した高剛性システムです。

※ヘキサポッドは、6本脚が1枚の駆動面を支えることで高剛性、かつ非常に滑らかな駆動が可能です。
※P-616型ピエゾナノポジショナーは、ナノメートルの位置精度を持ち、高速スキャンモーションを可能にします。高性能フィードバック位置センサーが装備されているため、正確で高再現性を実現します。

＜高解像度アナログ信号入力＞
コントローラは高解像度アナログ入力を介して、光強度信号を直接受信することができます。カメラを使った複雑なセットアップは必要ありません。

＜ピボットポイントの任意設定＞
システムのピボットポイントは、例えば、ファイバーの先端、ビームウエスト、SiPウェーハの表面などに任意に設定できます。

基本情報高速フォトニクスアライメントシステム　F-712.HU1型　

システム駆動軸：9軸

＜ヘキサポッドラフポジショニング＞
　トラベルレンジ： X, Y, Z＝±17, ±16, ±6.5mm、θX, θY, θZ＝±10, ±10, ±21度
　最小移動量：XY=0.1µm、Z=0.05µm
　ロータリーエンコーダ
＜ピエゾファインポジショニング＞
　トラベルレンジ： X, Y, Z＝100µm
　最小移動量：2.5nm
　内蔵センサー

＜システム専用コントローラ＞
　C-887型ヘキサポッドアナログ入力付属コントローラ＆ソフトウェア
　E-712型デジタルピエゾコントローラアナログ入力付属

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型番・ブランド名	F-712.HU1型　ドイツ　Physik Instrumente社製
用途／実績例	・シリコンフォトニクスアライメント＆組立て・光ファイバーアライメント＆組立て・微小部品アライメント＆組立て・光学部品アライメント・光学部品試験・各種計測