ピーアイ・ジャパン株式会社 PI社製　超高速ステアリングミラーピエゾ

最終更新日：2022-11-24 11:18:00.0
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小型・摩耗無し・スキャニングに好適！静的動作や、ハイダイナミクス動作（スキャン、トラッキング、ドリフト、振動キャンセル）などに

PI社の超高速ステアリングミラーピエゾステージは、コンパクト設計で、
摩擦のないフレクシャーガイド、高速応答のピエゾ駆動、
フィードバックセンサーにて構成されており、1つのピボットポイントにより、
1枚のミラーをTip/Tilt駆動させることが可能です。

また静的動作や、ハイダイナミクス動作
（例：スキャン、トラッキング、ドリフト、振動キャンセル）などに使用されています。

【アプリケーション例】
スキャニング、FSO、画像安定化、レーザー溶接、
カッティング、半導体テストと製造、レーザービームステアリング、
天文学、モノクロメータ、眼科手術など

近年、微細レーザ加工向けのご使用のお問い合わせが増えており、
ミラーピエゾの需要が増加していくと予想しており、弊社の対応製品をご紹介します。

・高速応答、高精度を可能にしたミラーピエゾステージ
・これらの能力を発揮するための高出力コントローラ

また、通常ピエゾは発熱しにくいものですが、kHzレベルの動作で、
必要があれば内部の冷却機構を備えたカスタマイズ対応も行っております。

基本情報PI社製　超高速ステアリングミラーピエゾ

主な特徴
＊チップ/チルト角5mrad、光偏向角10mrad(0.57°)
＊パラレル制御設計によるチップ/チルト両軸での高性能特性
＊ダイナミックモーションと高速ステップ＆セトリングの高い共振周波数
＊高リニアリティの位置センサー
＊最大12.7mm径（0.5"）のミラー用

ゼロ点フレクシャガイドによる高ガイド精度
フレクシャガイドは、摩擦、摩耗がなく、潤滑不要。剛性は高負荷容量を可能にします。100％真空対応で、広い温度範囲で動作します。

平行運動による高ダイナミック多軸動作
平行運動学的多軸システムでは、すべてのアクチュエータが共通のプラットフォーム上で動作します。すべての軸の最小質量慣性および同一設計により、高速、動的、およびそれにもかかわらず精密運動が可能です。

自動構成と高速コンポーネント交換
メカニクスとコントローラは必要に応じて組み合わせ、素早く交換できます。すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのSub-DコネクタのIDチップに格納されます。デジタルコントローラの自動校正機能は、コントローラのスイッチが入る度このデータを使用します。

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型番・ブランド名	S-331
用途／実績例	応用分野画像処理/安定化光学トラッピングレーザースキャニング/ビームステアリングレーザーチューニング光学フィルター/スイッチ光学系ビーム安定化