XYZ軸ピエゾステージ『P-611.3/P-616』ピーアイ・ジャパン

パラレルメカニズムのため3軸とも同一性のあるダイナミック特性！

『P-611.3/P-616』は、すぐれた分解能と高速応答ができる
NanoCubeU(R)XYZ軸ピエゾステージです。

コスト効率の高いメカニクス／エレクトロニクスシステム構造。

歪みゲージセンサー付きの「P-611.3S」をはじめ、
「P-611.3SF」や「P-616.3C」などをラインアップしています。

【特長】
■最大100×100×100μmのトラベルレンジ
■きわめてコンパクトで軽量
■すぐれた分解能と高速応答
■高速3軸スキャニング
■摩擦がなく高精度なフレクシャガイドシステム

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報XYZ軸ピエゾステージ『P-611.3/P-616』

【ラインアップ(抜粋)】
■P-611.3S
■P-611.3SF
■P-616.3C　など

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用途／実績例	【用途】 ■フォト二クス／内蔵型光学装置 ■マイクロマニピュレーション ■バイオテクノロジー ■半導体試験 ■ファイバーポジショニング　など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。