省スペース化に貢献・PI社製小型ステージカタログ2021

Z軸PIHera(R)システムは、ストロークが最大400μm、
サブナノメートルの分解能を提供する、低価格のピエゾナノポジショニングステージです。

【特徴】
○垂直ストローク：50～400μm
○高精度、低コスト
○0.1nmの分解能
○静電容量センサーを内蔵
○0.02%の位置決め精度
○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
○X、XY、Z、XYZバージョン
○真空対応バージョンも用意

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。 （詳細を見る）

P-611.Zステージは、設置面積がわずかに44 x 44mm、
クローズドループストローク100μmを特徴とする、ピエゾベースのナノポジショニングシステムです。

【特徴】
○コンパクト設計：設置面積はわずか44 x 44mm
○ストローク～120μm
○分解能～0.2nm
○低コストの機構／電子システム構成
○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
○X、XY、XZ、およびXYZバージョンを用意

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『V-408』は、3相の磁気ダイレクトドライブはドライブトレイン内で
機械部品を使用しないため、駆動力を摩擦プラットフォームに
伝達するPIMag リニアステージです。

クロスローラーガイドにより、ボールガイドのボールの点接触ではなく
強化ローラーが線で接触するようになっています。

これにより剛性が著しく増すとともに必要なプリロードが抑えられているため、
摩擦が低減しスムーズな動作が可能。クロスローラーガイドには、
ガイド精度が高く耐荷重が大きいという特長もあります。

【特長】
■アイロンコア3相リニアモータ
■高耐荷重のクロスローラガイド
■最小インクリメンタルモーション 20nm
■双方向繰り返し性 ±0.1μm
■コンパクト設計

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『U-651』は、精密回転ステージにPILine超音波ピエゾモーターを
採用しており、このモーターがセラミック製摩擦リングに作用して
プラットフォームを駆動させるPILine 高速・薄型回転ステージです。

直接駆動方式により、ステージの小型化と薄型が可能になりました。
内蔵のインクリメンタルエンコーダーは、最大4μ radの分解能で、
精密な位置コントロールを行います。

【特長】
■薄型でわずか14mmの高さ
■分解能が最大4μ radのダイレクト位置測定
■最高速度540°/秒
■両方向の回転で最大0.3Nmのトルク
■開口部の直径は36mm
■真空対応タイプ（10-6pha）オプションであり

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『U-521』は、アダプタープレート不要でXYコンビネーションが可能な
コンパクトリニアステージです。

静止時の自動ロックにより、発熱、サーボによるブレがありません。
真空対応バージョンを利用可能です。

研究および製造業、オートメーション、サンプルマニピュレーション
などの用途にご使用いただけます。

【特長】
■わずか35mm角高さ10mmのコンパクトサイズ
■最高速度200mm／秒
■トラベルレンジ18mm
■優れた動作／停止ダイナミクス
■直接測定リニアエンコーダー

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『P-611.3/P-616』は、すぐれた分解能と高速応答ができる
NanoCubeU(R)XYZ軸ピエゾステージです。

コスト効率の高いメカニクス／エレクトロニクスシステム構造。

歪みゲージセンサー付きの「P-611.3S」をはじめ、
「P-611.3SF」や「P-616.3C」などをラインアップしています。

【特長】
■最大100×100×100μmのトラベルレンジ
■きわめてコンパクトで軽量
■すぐれた分解能と高速応答
■高速3軸スキャニング
■摩擦がなく高精度なフレクシャガイドシステム

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『L-310』は、ボールネジとクロスローラーガイドにより、
高いガイド精度と剛性を実現する製品です。

高い安定性を可能にする応力緩和アルミニウムベースを使用。

また、真空対応バージョン可能非接触リミットスイッチと基準点スイッチを備え、
基準点スイッチには、トラベルレンジの中央に方位センシングが搭載されています。

【特長】
■高いガイド精度と剛性を実現
■応力緩和アルミニウムベース使用
■スムーズな動作と低摩擦で長寿命を実現
■インクリメンタルエンコーダーによる高精度の位置測定
■小インクリメンタルモーションと低速モーション

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スペースが限られているアプリケーションでは、小さなステージやアクチュエータが不可欠です。PI社のコンパクト精密位置決め製品は、様々なアクチュエータやセンサーを用いて製品ごとに特長を持たせたモノづくりを行っています。
最先端の研究開発、超高真空アプリケーションや非磁性環境、微小部品のマイクロアセンブリ、産業用アプリケーションでの小型化プロセス、テスト計測システム、光学デバイス、光アライメント、コンポーネントの組み立ておよび医療機器向けアプリケーションなどに最適です。 （詳細を見る）