エアベアリング ステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

製造装置関連機器　精密石材によるXYステージ

天然石を使用したステージです。お客様からのご要望にて製作いたします。 …

平面度や各種振動が気になるなどの各種製造装置や検査装置に使いたかったXYステージ。 精密石材を使用した製品を製作することが可能となりました。 今までの精度では満足できなくなった方々や、精密石材を使うことが始めての方々でも親切に対応させていただきます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イーエスジェイ