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42件 - メーカー・取り扱い企業
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6件 - カタログ
138件
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PRエアステージLBTシリーズ
エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50mm~500mm エンコーダは用途により1um~0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...
メーカー・取り扱い企業: TOYO ROBOTICS株式会社
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【無料デモ機受付中】既存の顕微鏡のステージに置くだけで使える! 高倍…
『3R-XY01』は、市販の顕微鏡と組み合わせて使用できるXYステージ。ダイヤル(XYマイクロメーター)を回して位置調整するだけで、観察したい箇所を簡単に中央に持ってきたり移動させることができます。 高倍率観察時の細かい位置調整で活躍します。ワークを手で動か...
メーカー・取り扱い企業: スリーアールソリューション株式会社
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カラーチャートの測定を正確かつ、効率的におこなうXY自動測色ステージ。
蛍光分光濃度計FD-7/FD-5を取り付けて使います。 手動によるスキャン測定に比べ繰返し再現性が高く、自動測定なので測定作業に時間が取られません。 対象機種: FD-7、FD-5 ※詳しくはPDFダウンロードまたはお気軽にお問い合わせください。...FD-7/FD-5との組み合わせにより、M1光源での色彩データの取得が可能 M1光源やユーザー定義光源で取得した色彩データを活用することで、よ...
メーカー・取り扱い企業: コニカミノルタジャパン株式会社 センシング事業部
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小型グラナイトエアスライドXYテーブル『GRANAS-10XY』
【デモ機】高い位置決め精度を可能に!メンテナンスフリーの精密小型グラナ…
『GRANAS-10XY』は、主要部材にグラナイト(斑レイ岩)を使用した 高精度でコストパフォーマンスに優れたエアスライダーXYテーブルです。 摺動抵抗が極めて小さく高い位置決め精度が可能。スライダー、駆動部共に 完全非接触(潤滑油不要)のためクリーンでメンテナンスフリーです。 高精度な真直性、定速性、位置決めを必要とする検査機、加工機に適しています。 【特長】 ■主要部材にグ...
メーカー・取り扱い企業: ピー・ヂー・ダブリュー株式会社
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多様なモータ変更要求に対応できる製品など様々なアライメントステージをご…
当社では、小型デバイスの組立に適している『YRA-070』をはじめとする XYθ薄型アライメントステージシリーズを取扱っております。 多様なモータ変更要求に対応している『YRA-071』や、中小型液晶や ウエハの張り合わせに適した『YRA-131』、シリーズ最大の高耐荷重仕様の 『YRA-200』がございます。ご要望の際は、お気軽にご相談ください。 【ラインアップ】 ■YRA-...
メーカー・取り扱い企業: 神津精機株式会社
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C-AFMやKFM、sMIMなどの測定モードで最大100mm角のサンプ…
導電性AFM、ケルビンプローブフォース顕微鏡法(KFM)、走査型マイクロ波インピーダンス顕微鏡法(sMIM)などの機能に加え、4インチまでのサンプルに対応。 ■サンプルサイズ :最大100 mm角 ■ステージ移動距離 :100 mm ■XY走査範囲 : 100 μm (製造寸法公差 +/- 10%) ■Z走査範囲 : 9 μm (製造寸法公差 +/- 10%) ■XY走査分解...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社日本レーザー
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光学式エリアスキャナ「Flying Spot Scanner」
振動の影響を受けずに高速エリアスキャン。オンライン、オフライン、品質管…
です。 【特長】 ■広範囲のエリアスキャン ~φ80mm ■高分解能 XY6.5um~, Z 1nm~ 最小ビームスポット径13um, 分光干渉方式による高Z分解能 ■XYステージ不要でステージ振動無し ガルバノミラーによるエリアスキャン ■開発コスト低減、開発納期短縮 装置組込み用のソフト開発キット(DLLなど)あり ■用途 FPD,LC...
メーカー・取り扱い企業: プレシテック・ジャパン株式会社
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ドイツ・メルツホイザー社製の高精度電動ステージです。 顕微鏡のみなら…
ドイツ・メルツホイザー社の顕微鏡用自動XYステージは装置の自動化と高精度位置決めを必要とするアプリケーションの為に開発されました。ほとんどのメーカーの正立/倒立顕微鏡へ取り付けが可能です。 最小移動範囲は75mm x 50mm、最大移動範囲は6...
メーカー・取り扱い企業: フォトニックインストゥルメンツ株式会社
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繰り返し位置決め精度±0.5μm!動作時の真直性に優れ、柔軟なカスタム…
『XYステージ』は、分析・検査装置への組込に適した 高精度ロングストロークです。 部品精度、剛性、組立技術の向上により、軌跡の再現性が高いため、 補正や原点復帰が安定し高精度な位置決めが可能。 ...
メーカー・取り扱い企業: 神津精機株式会社
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トレイ交換により、トレイ中の個片または基板の外観を高速で検査を行います
2ステージタイプ汎用型平面外観検査装置は、XY軸ロボットでカメラおよびトレイを移動させ、トレイに並べられたワークを高速で連続検査します。トレイ交換により、トレイ中の個片または基板のいずれかの検査が可能になります。個片検査の場合は不良品排出、良品補充、方向整列機構を付けることが可能です。基板検査の場合はバッドマーキングを行うことが可能です。画像検査能力を上げるため、高画素カラーカメラとモノクロカメラ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ヒューブレイン
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300種類を超える多彩なラインアップ!様々な組み合わせが可能です
ダーメイドの 経験を凝縮して生まれた汎用精密位置決めステージです。 高精度・高剛性・高耐久性を備えております。 ご要望の際は、お気軽にご相談ください。 【ラインアップ】 ■手動XYステージ ■ゴシックアークステージ ■手動Zステージ ■自動Xステージ ■自動スイベルステージ ■手動スイベルステージ ■精密ポジショナー ■自動回転ステージ ※詳しくはPDFをダウ...
メーカー・取り扱い企業: 神津精機株式会社
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マイクロメーターによる高精度位置合せでオープンショート検査機をサポート
コンパクト!安価! 3軸方向の小型微調整用精密ステージで精緻な位置合わせが可能。 オープンショート検査機を強力にサポートします! 【特長】 ■マイクロメーターによる高精度位置合わせができます。 ■テーブル寸法 60×60[mm] ■外形寸法 123×120×30[mm] ※詳しくはお問い合わせ、もしくはPDFをダウンロードしてください。 ※総合カタログ進呈しております。...
メーカー・取り扱い企業: 日東公進株式会社
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150mm-200mm手動プローブシステム『WL-1160』
高い信頼性で正確なRF/mmW、DC、IV-CV、ハイパワー試験計測 …
【仕様(例:チャックXYステージ)】 ■ステージ移動範囲:203mmx203mm(8x8インチ) ■ステージ移動範囲(微調整):12mmx12mm(0.5x0.5インチ)(オプション) ■移動分解能(微調整):<1um(...
メーカー・取り扱い企業: 阪和トレーディング株式会社
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部品の取り付け漏れや部品に印字された文字不良の検査を行った事例をご紹介…
【機材】 ■XYステージ:1台 ■カメラ:1台 ■照明:1台 ■コントローラ(PC、検査ソフト):1台 等 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エーディーディー
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手置き検査の効率化!トレーに入った品目や1台のカメラで検査しきれない広…
き検査機で1つずつ検査機にセットするのが面倒」「検査機の前から 離れることができず、省力化に繋がらない」等といったお困りごとを当社の 『iVisionロボ』が解決いたします。 汎用型のXYステージに外観検査システムを組み合わせる事により、 繰り返し検査や広範囲の検査が可能な比較的安価なシステムとなります。 カメラ、照明とステージが移動する事により、トレーに並べられた品目や 基板...
メーカー・取り扱い企業: ナガセ研磨機材株式会社 本社
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オリジナル電動レボルバを採用!既成アクチュエータを用いずフレームと一体…
社が製作した「両面顕微鏡測定用ユニット」をご紹介いたします。 オリジナル電動レボルバを採用。上下対物レンズの軸を高精度に 合わせることができます。 また、高速駆動可能な薄型フラットXYステージに高精度θ回転を 組み込んだオートステージとなっております。 【特長】 ■ワーク表裏面のパターンズレ測定 (サイズ:W500×D780×H700) ■オリジナル電動レボルバを採用...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェルテック
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最大60“までのパネルを明視野透過・反射検査、微分干渉検査が電動レボル…
最大60”までのモジュール製品を顕微鏡検査する測長顕微鏡です。 延長鏡筒なので、手元で目視検査とモニタ検査ができます。 顕微鏡固定型なので延長鏡筒で目視検査・モニタ検査ができ、自動計測は ステージ移動量と合わせた自動計測ができます。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...【特長】 ○微分干渉顕微鏡で透過・反射検査 ○画像計測モニター130万画素、延長鏡...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アイティ・テック
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他の検査システムの欠陥データと連携!8インチウェハ対応の自動欠陥レビュ…
当製品は、他の検査システムの欠陥データと連携するもので、指定の座標の 画像を自動で撮像し、保存や他システムへ送信する装置です。 自動搬送ユニットがレビューユニットのXYステージにウェハを搬送。 受信した欠陥データの指定座標を高倍率(100x、150x)にて自動撮像 することができます。 【特長】 ■8インチウェハ対応 ■指定の座標の画像を自動で撮像し...
メーカー・取り扱い企業: アテル株式会社
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3次元解析や欠陥マップ表示などが可能!目的に応じた専用測定プ…
インラインプロファイル測定用多目的3軸ステージを 使った測定装置のご紹介です。 インラインプロファイル測定器と組み合わせ、目的に 応じた専用測定プログラムを設計開発致します。 3次元解析や欠陥マップ表示などが可能です。 【制御方式】 ■専用コントローラ ・制御プログラムを利用せずに簡単操作 ■CC-Link ・PLCによる制御で専用機 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社バリッジ
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あらゆる対象物に対応!表面形状を非接触・非破壊でリアルタイム3D処理を…
『NAZCA-3D』は、対象物の表面形状を広範囲に高速で、かつ正確に 測定するシステムです。 非接触レーザ変位計と電動2軸ステージを専用の治具に装着し、XY方向に 走査することで高速に3Dデータを生成します。 生成された3Dデータは様々な用途に合わせ、3D表示、計測、特殊測定など 高度画像処理を用いた解析を行うことができます。 【特長】 ■非接触・非破壊で表面形状を3D化...
メーカー・取り扱い企業: 三谷商事株式会社 ビジュアルシステム部
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自動車部品、建機部品などでのX線による残留応力測定装置を販売しています…
【測定実績・提案例】 ■溶接、摩擦攪拌接合、焼嵌め、カシメ、圧入の評価や加工による割れ・変形の原因解析、ショットピーニング評価 【対象物例】 ■自動車など輸送機器部品、建機・農機・部品、機械・工具、橋梁・建築・構造物、発電機部品 【世界最小・最軽量クラス】 ■小型センサで、複雑形状でもアプローチ可能 ■オンサイト測定にも対応し、タンクや配管などの大型部品や鉄橋、タワー、プラント...
メーカー・取り扱い企業: 浜松貿易株式会社
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XY位置補正でステージインデックス、初期設定、温度などによるコンタクト…
PCP-102SLは、通常のウェハの他に、薄層ウェハの検査を実現するために開発されたプローバです。 カセットからの自動搬送、プリアライメント、ファインアライメント、プロービング(検査)を行います。 【特長】 ■ステージインデックス、初期設定、温度などによるコンタクトの累積誤差を解消します。 ■マルチプロービング検査は、検査工程のスループットを飛躍的に向上させます。 ※詳細は資料請求して頂くかダ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社プラムファイブ
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インラインにも対応!目視検査では不可能であった定量化や見逃し欠陥を確実…
『シリンダー内面外観装置』は、シリンダーなどの円筒物の内面を 自動検査する装置です。 スクラッチ(傷)、異物、カケの外観検査を全自動で行います。 今までの検査時間の1/10程度で検査。検査はカメラがXY移動します。 画像記録のほか、任意のしきい値設定から欠陥に対してOK/NG判別を 全自動で行います。 【特長】 ■スクラッチ(傷)、異物、カケの外観検査を全自動で行う ...
メーカー・取り扱い企業: ソフトワークス株式会社
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高精度・精密計測!任意のしきい値設定から欠陥に対してOK/NG判別を全…
『スクラッチ装置』は、ウエハーを複数枚乗せる事が可能で、極微少な スクラッチ(傷)、異物、カケの外観検査を全自動で行います。 ワークまでの距離を自動で測るレーザー変位計を装備しておりウエハーの 厚みに依存しません。 画像記録のほか任意のしきい値設定から欠陥に対してOK/NG判別を、 全自動で行います。アプリケーションとして、透明体、半透明のSiCやGaN、 GaAs、サファイア...
メーカー・取り扱い企業: ソフトワークス株式会社
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デジカメレンズ、携帯カメラレンズ等の欠陥を1度の撮像で検査できる自動検…
距離(WD):55mm~342mm ■被写界深度:0.02mm~33.5mm ■光学的分解能:1.5μm~ ■視野角:0.71×0.87mm~71×87mm 〔照明部〕 ■照明部:LED照明 〔XYステージ部〕 ■インターフェース:USB、RS232C、デジタル入出力 ■移動量:300mm×300mm ■位置決め精度:±20μm ■最大移動速度:20mm/sec 〔被写体ワーク〕 ■検査タクト:0...
メーカー・取り扱い企業: OLAイメージング株式会社
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ウェハ表裏同時露光。セミオート動作で中ロット生産に対応!
両面同時露光マスクアライナー BS320は、研究開発から小中ロット製造用として多くの出荷実績がある両面同時露光式マスクアライナーです。一次露光は両面同時、二次露光以降は片面づつ露光する方法を採用するため、シンプルで応用が利くモデルです。各種ニーズに合わせたカスタマイズも承ります。二次露光以降は片面露光となりますので別途「試料台」が必要になります。二次露光以降も両面同時露光可能なBS320uもライン...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ナノテック
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【製品不要の改善】MEMS顕微鏡(両面パターンズレ検査装置)
顕微鏡カメラでモニタして、パターンズレや通り違いを検査!
アローズエンジニアリングでは、アイティ・テック社製の MEMS顕微鏡を取扱っています。 『TMIR-2000』は、MEMSウエハを上下両面から顕微鏡カメラでモニタして パターンズレや通り違い検査ができます。 新開発ソフトで2カメラの光軸をアライメントとリアルタイムで合成で 上下の重なりズレをダイレクトに写します。また、自動線幅測定で マークズレをサブミクロン測定します。 ...
メーカー・取り扱い企業: アローズエンジニアリング株式会社
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対流加熱式でリフロープロセスを再現!20℃~300℃までの任意温度に加…
『HVI-S10000C』は、計測範囲160×136mmでバンプ除去不要の 広視野温度可変反り検査装置です。 共焦点法を用いており、サンプルへの塗装や部品を除去する必要がなく、 バンプ高さ、コブラナリティに加え、基板の変形も同時に高精度な検査を実現。 Zステージに設けられたナノ分解能のリアルスケールにより、 シャッタのタイミングが制御されるため、高速でありながら正確な Z位置で...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社東光高岳 光応用検査機器事業本部 検査機器営業部 営業G
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微小領域に紫外光照射検査ができます。
微小スポット露光顕微鏡はマスク欠陥の高精度レビュー検査顕微鏡で画面の微小領域にスリット露光できるスポット顕微鏡です。 レジストを塗布したマスクをステージに載せ欠陥検査機のデータから欠陥位置を自動再現してXYスリットで露光範囲を決め水銀スペクトルをタイマー露光するスポット照射顕微鏡です。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。...【特長】 1.微小領域に紫外光照射検査ができます...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アイティ・テック
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【人とくるまのテクノロジー展名古屋出展】溶接部の残留応力測定!
溶接・接合部の割れや変形の原因となる残留応力を簡単測定!大型構造物の測…
【測定実績例】 ■溶接、摩擦攪拌接合、焼嵌め、カシメ、圧入の評価や加工による割れ・変形の原因解析 【世界最小・最軽量クラス】 ■小型センサで、複雑形状でもアプローチ可能 ■オンサイト測定にも対応し、タンクや配管などの大型部品や鉄橋、タワー、プラントなどの大型構造物も測定可能 【X線で非破壊・非接触】 ■人の目に頼らない高精度の測定を実現 ■破壊試験とは異なり、テストピース作成...
メーカー・取り扱い企業: パルステック工業株式会社
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【ヒューマンエラーを防ぐ】ウェハの表裏両面の異物、キズ、クラックや外周…
種類を検査部で撮像した画像から自動的に検出する自動外観検査装置です。エッジグリップハンドによりウェハ中央部に接触することなく搬送します。欠陥検出はウェハの表裏画面が対象。自動搬送ユニットが検査部XYステージにウェハを搬送し、全面を撮像した後、表裏を反転させ、再度全面撮像します。 【自動外観検査装置の特長】 ■8インチウェハ対応 ■検出した欠陥はウェハマップにその位置を表示 ■任意の操作...
メーカー・取り扱い企業: アテル株式会社
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コストパフォーマンスに優れたセミオートプローバ
雄山株式会社より「OYM-2000シリーズ」のご案内です。...【特徴】 ○低価格、高性能、コストパフォーマンスに優れたセミオートプローバ ○XY各軸に高い繰り返し精度が得られるクローズドループ式ステージを採用 ○200mmまでのウエハ及びカットサンプルの測定が可能 ●詳しくはお問い合わせください...
メーカー・取り扱い企業: 雄山株式会社 東京支店
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【ストローク40mm】10nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置保持…
光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、分解能、位置決め再現性、位置保持性が優れております。 フィードバックステージコントローラ FC-511と組み合わせることでエンコーダの読み取り値の『10nm』分解能で『40mm』ストロークで動作させることができます。...最...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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【10nm分解能】フィードバック制御により位置の分解能・再現性・保持性…
光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 エンコーダの位置情報をもとにフィードバック制御を行い、高分解能・高い位置再現性・高い位置保持性を持っています。 フィードバックステージコントローラ FC-511と組み合わせて使用することでストローク『 20mm 』間を『 10nm 』分解能で動作します。 ...最小分解能:10nm 最大移...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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エリアスキャンセンサー『Flying Spot Scanner』
XYステージ不要!分光干渉原理による厚みと距離(変位)測定が可能!ウエ…
ャン形状とフィルタによる簡単な対象領域の検査ができます。 また、反射面でも良好な結果を得ることが可能です。 【特長】 ■超高速光学スキャン ■測定対象物と光学センサーは固定 ■XYステージ不要 ■分光干渉原理による厚みと距離(変位)測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: プレシテック・ジャパン株式会社
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ウェハ表面のマクロ観察も可能!卓上型5、6インチウェハ対応顕微鏡ローダ…
『SYAR112』は、卓上型ロボットとアライナ、顕微鏡XYステージからなる 顕微鏡ローダ装置です。 所定のウェハをカセットから抜き取った後、アライナでセンタリングと ノッチ又はオリフラを位置決めし、顕微鏡XYステージに供給します。 また、観察ポ...
メーカー・取り扱い企業: アテル株式会社
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2軸に稼働する汎用ステージを利用し、基板上全体の確認を行うことができま…
リードフレームの「充填不良」等、必要な検査について「目視検査」から 「カメラを使用した自動検査」に切り替えませんか? 汎用のXYステージ移動装置に検査システムを取付け、検査装置として運用する 「iVisionロボ」の実用例についてご紹介いたします。 「iVisionロボ」は様々な用途に用いることができ、この事例では 基...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エーディーディー
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2軸に稼働する汎用ステージを利用し、金属板に開けた穴の位置、大きさの検…
金属板の「穴位置」「穴寸法」「穴バリ、欠け」等、必要な検査について 「目視検査」から「カメラを使用した自動検査」に切り替えませんか? 汎用のXYステージ移動装置に検査システムを取付け、検査装置として運用する 「iVisionロボ」の実用例についてご紹介いたします。 「iVisionロボ」は様々な用途に用いることができ、この事例では 鋼...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エーディーディー
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ウェハ外観を目視と顕微鏡によって観察する8インチウェハ対応の装置をご紹…
す。 エッジグリップハンドによりウェハ中央部に接触することなく搬送、 観察することができます。 マクロユニットでは、ウェハの表裏面を任意の角度で観察可能。 ミクロユニットでは電動XYステージがあらかじめ登録した座標に移動するので、 トリガーボタン一つで複数の指定座標を連続で観察できます。 【特長】 ■8インチウェハ対応 ■エッジグリップハンドによりウェハ中央部に接触する...
メーカー・取り扱い企業: アテル株式会社
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非接触・非破壊で溶接部の残留応力を測定!現場計測サービスも対応!
溶接・接合部の割れや変形の原因となる残留応力を簡単測定!大型構造物の測…
溶接部の割れ・変形の原因となる残留応力が簡単に計測可能! その課題、残留応力測定装置『μ-X360s』が解決いたします! 【測定実績例】 ■溶接、摩擦攪拌接合、焼嵌め、カシメ、圧入の評価や加工による割れ・変形の原因解析 【世界最小・最軽量クラス】 ■小型センサで、複雑形状でもアプローチ可能 ■オンサイト測定にも対応し、タンクや配管などの大型部品や鉄橋、タワー、プラントなどの...
メーカー・取り扱い企業: パルステック工業株式会社
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8インチタイコウェハ対応!透過式マッピングセンサ搭載マクロミクロ検査装…
察します。 ジョイスティックにより任意な座標制御が可能。 帯電防止塩ビカバー、各種インターロックを装備しています。 【特長】 ■アライナでセンタリングとオリフラ位置決め後に顕微鏡XYステージに供給 ■透過式マッピングセンサ搭載 ■ジョイスティックにより任意な座標制御可能 ■帯電防止塩ビカバー、各種インターロック装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合...
メーカー・取り扱い企業: アテル株式会社
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非接触&非破壊!溶接部の割れ・変形の原因となる残留応力を簡単に測定可能…
溶接部の割れ・変形の原因となる残留応力が簡単に測定可能! その課題、残留応力測定装置『μ-X360s』が解決いたします! 【X線で非破壊・非接触】 ■人の目に頼らない高精度の自動測定を実現。 ■破壊試験とは異なり、テストピースの作成が不要。検査コストの削減に。 【高速測定】 ■フェライト系材料を、1ポイントあたり、60秒で測定。 ■試料のセットは、内蔵カメラで簡単。 【...
メーカー・取り扱い企業: パルステック工業株式会社
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