エアベアリング ステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

レーザー微細加工機『LPシリーズ』

ガラス穴あけ・ガラススクライブ・超硬材溝加工・Siスクライブ等の加工に…

当社のレーザー微細加工機『LPシリーズ』は、ガルバノスキャナと 高精度XYステージの組合せにより広範囲を高速に加工可能な装置です。 同軸観察システムの搭載で高精細な加工観察が出来ます。 また、各種レーザー発振器の搭載が可能です。 【特長】 ■高精度・高速加工・...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ラステック

レーザ加工システム

自動位置決めステージを搭載！品種ごとの加工データを自動選択し、誤操作を…

『レーザー加工システム』では、レーザ加工機(マーカー)を用いて、 様々な加工アプリケーションをシステムで実現できます。 XYΘ軸の位置決めステージで、寸法や形状の異なる多品種の ワークにもレーザ加工が可能。 同軸カメラ内蔵型のレーザ加工ヘッドと、コンポーネントで画像位置補正 を選択することで、微細部品に適した高い位置再現性を実現します。 【特長】 ■多品種対応 ■高精度...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アマダ（アマダグループ）