エアベアリング ステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

【限定5社様】総合カタログプレゼント

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Stack and Ring actuator ○SSL-140シリーズ　低価格大電流容量ピエゾドライバ　１ch ○NPX25A ○超ロングストローク・ピエゾステージ ○アパチャー付き　XYステージ ○回転ステージ ○リフティングステージ ○LION PRECISION 高精度センサおよび測定 →静電容量変位センサ →渦電流変位センサ →スピンドル　エラーアナライザ →高速ド...

メーカー・取り扱い企業： 翔栄システム株式会社