エアベアリング ステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

【設計・製作】機械装置の開発事例（２）

各種機械装置や治具など、設計・製作からアフターサービスまでワンストップ…

仕様]　　 　　・用力　　：ドライエア、バキューム 　　・操作方法：専用ソフトによる自動運転、手動運転の2種類 　　・装置構成：制御盤、ロードポート、ロボット、FFU、 　　　　　　　　XYステージ 　　・サイズ　：2,200 x 2,050 x 2,000 mm（重量約900kg） 　　・電源　　：AC200V 3相 弊社では、ものづくり事業（設計・製作<ODM> 、部...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社AGORA TECHNO