エアベアリング ステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

XYテーブルF3 / XYテーブルF3微調整付

XYテーブルF3 / XYテーブルF3微調整付

フラットタイプのコンパクトなXYテーブル。マグネットも使える鉄板ステージです。移動量はXYともに300ミリ。 ...フラットタイプのコンパクトなXYテーブル。マグネットも使える鉄板ステージです。移動量はXYともに300ミリ。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エス・エフ・シー

常駐型ステージ制御アプリケーション『楽ポジ』

XYθ絶対座標値を与えることで楽に位置決め制御をすることができます！

『楽ポジ』は、XYθステージは基より、煩わしい演算を必要とする θXYステージおよびアライメントステージの制御を、簡単に短時間で 動作を実現するクラスライブラリです。 XYθ座標系での位置決め制御メソッドを発行するだけで、 容易にユーザアプリケーションを構築でき...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイズ

半導体製造装置・検査装置に好適なアライメントステージ

0.1μmの追従性を実現する『RSTアライナー』と薄型・小型の省スペー…

【RSTアライナー】 ■最大の特徴である駆動ユニットのバランスの取れた正三角形配置がアライメントに必須の超高精度な微少駆動を可能に ■リニアスケール等のフィードバックを掛けずに0.1μm±20nmの高い追従性を実現 ■ベアリングを使用していない為、大口径の透過穴が実現可能 ■ウエハサイズやワークサイズに合わせ、テーブルサイズも自在 ■貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加可能 ■高...

メーカー・取り扱い企業： 神津精機株式会社