エアベアリング ステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

超薄型XYθ（アライメント）ステージ「NAF3Cシリーズ」

電動アクチュエータを同一平面上に配置した超薄型ステージ　　　　　　～ …

超薄型XYθ（アライメント）ステージ「NAF3シリーズ」は、電動アクチュエータを同一平面上に配置した超薄型ステージであり、装置全体の低重心が実現可能です。 スライド部分には中間プレートを上下2枚のプレートで挟み込む「予圧型ダブルスライド」構造を採用。 各プレートの間に多数のボールが配置され、スムーズな平面転がり運動を可能にしています。 【特長】 ○超薄型構造・低重心 ⇒３軸...

メーカー・取り扱い企業： ヒーハイスト株式会社 本社・埼玉工場

アライメントステージ『SA』

X軸とθ軸の組み合わせやXY軸のアライメントテーブルを簡単に構築できる…

『SA』は、駆動部にダイレクトドライブ方式を採用した、 低断面でコンパクトなXYθ運動を実現するアライメントステージです。 直線移動用のXテーブルと、回転位置決め部であるθテーブルを基本構成 としてラインアップ。X軸とθ軸の組み合わせやXY軸のアライメントテーブルを 簡単に構築することが可能。 また、コアレスリニアモータとリニアウェイL、クロスローラベアリングを 採用し、極めて...

メーカー・取り扱い企業： 藤川伝導機株式会社

電動アクチュエータ　A/AX （精密ステージ） [THK公式］

高精度でバリエーションが豊富　さまざまな用途に対応可能

THKの電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ　A/AX（1軸/XY）は、同じストロークの従来型と比べ高さ寸法最大約27％のコンパクト化を実現しました。鉄使用とアルミ仕様とあり、用途に合わせて選定が可能です。アルミ仕様の場合は、従来型と比べて、本体質量最大約72％のダウンも実現しました。 なお関連リンク先では、より、詳細な製品説明をはじめ、製品カタログ、取扱説明書、仕様図・寸法表、２DC...

メーカー・取り扱い企業： ＴＨＫ株式会社