エアベアリング ステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

クイーンズゲイト製品（ピエゾ）総合カタログ

サブナノメータの分解能をはじめ、高い精度が必要となるご用途に好適！

当カタログは様々なナノポジショニング製品・システムを開発・販売しているクイーンズゲイト社の製品について紹介しています。 ピエゾ駆動のZステージやXYステージ、静電容量センサー、ピエゾアクチュエータ等、取り扱い製品例を掲載。これら製品の持つ性能・仕様も、グラフと共に説明しています。 サブナノメータの分解能をはじめ、高い精度が必要となるご用途に好...

メーカー・取り扱い企業： プライアー・サイエンティフィック株式会社

オカノ電機（株）　LED外観検査装置

NGチップを高速排除もしくはバットマーキングが可能です。

マガジンから供給されたリング上のウエハチップを XYθステージにセットし、ラインカメラにてマッピングデータを作成後、高解像度エリアカメラにて複数チップを同時検査する装置です。...【特徴】 ○複数チップを同時検査が可能 ○カラー空間にて良品範囲を指定することで詳細設定が可能 ○品種切り替えはソフトで対応可能 ○ＮＧ品は排除もしくはバットマーキングが可能 ○ＭＡＰファイル入力可能（検査結...

メーカー・取り扱い企業： オカノ電機株式会社

薄型ピエゾステージ　「ML-20XYL」

XY軸の薄型ピエゾステージです。

一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現しており真直性に優れます。 詳しくはカタログをダウンロードしてください。...○薄型：6mm ○透過窓：□15mm ○各種顕微鏡 ○XY高速スキャニング試験装置 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メステック