エアベアリング ステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

光学式エリアスキャナFlying Spot Scanner310

12inchウエハの全面厚み測定が可能。走査ステージレスで、振動の影響…

も良好な結果を得ることが可能です。 【特長】 　■広範囲のエリアスキャン φ310mm 　■高分解能　XY20um 　　　ビームスポット径40um, 分光干渉方式による高Z分解能 　■XYステージ不要でステージ振動無し 　　　ガルバノミラーによるエリアスキャン 　■開発コスト低減、開発納期短縮 　　　装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)あり 　■用途 　　　12インチウ...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

蛍光X線式測定器『XDALシリーズ』

非破壊で膜厚測定と素材分析ができる！品質管理や生産管理における測定にも…

『XDALシリーズ』は、微小部品や複雑な構造部品を非破壊で膜厚測定と 素材分析をするのに好適な蛍光X線式測定器です！ また、プログラム可能な電動式XYステージを搭載しており、自動測定で 品質管理や生産管理における測定にも適しています。 さらに当シリーズは、FISCHERSCOPE X-RAYシステムの特長である 高精度かつ長期安定性により再...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フィッシャー・インストルメンツ

膜厚測定システム『FilmSmart』

分光器、光源やステージなどオプション豊富で、小型・軽量・安価なシステム

す。 【特長】 ■測定範囲：200A～400,000A ■波長範囲：380-850nm ■屈折率n・減衰係数k、透過・反射・色測定も可能 ■小型・軽量付属ソフトで簡単測定 ■自動XYステージ：2次元、3次元描画（オプション） ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社たきぶん