エアベアリング ステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

接着剤塗布治具　薄型XY回転ステージ　XYR-90A

外観が円盤形状のコンパクトな一体型複合機能ステージです。

回転ステージ面にステージ板を設置し、顕微鏡と組み合わせることでコンパクトな顕微鏡システムにすることができます。 ステージ板は表面と裏面が白と黒に色分けされています。通常は、白面側（色のついた物が見やすい）を使用し、白っぽい物や透明な物を観察する時は黒面側を使用します。試料の色などの特徴に応じて使い分けると観察しやすくなります。 【特徴】 ○従来品の組合せより30% 近く薄型（高さ50mm...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミラック光学