エアベアリング ステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

自動欠陥レビュー装置(ADR)

他の検査システムの欠陥データと連携！8インチウェハ対応の自動欠陥レビュ…

当製品は、他の検査システムの欠陥データと連携するもので、指定の座標の 画像を自動で撮像し、保存や他システムへ送信する装置です。 自動搬送ユニットがレビューユニットのXYステージにウェハを搬送。 受信した欠陥データの指定座標を高倍率(100x、150x)にて自動撮像 することができます。 【特長】 ■8インチウェハ対応 ■指定の座標の画像を自動で撮像し...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

【設計・製作】機械装置の開発事例（２）

各種機械装置や治具など、設計・製作からアフターサービスまでワンストップ…

仕様]　　 　　・用力　　：ドライエア、バキューム 　　・操作方法：専用ソフトによる自動運転、手動運転の2種類 　　・装置構成：制御盤、ロードポート、ロボット、FFU、 　　　　　　　　XYステージ 　　・サイズ　：2,200 x 2,050 x 2,000 mm（重量約900kg） 　　・電源　　：AC200V 3相 弊社では、ものづくり事業（設計・製作<ODM> 、部...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社AGORA TECHNO

【8インチウェハ対応】ウェハ表裏自動外観検査装置(AOI)

【ヒューマンエラーを防ぐ】ウェハの表裏両面の異物、キズ、クラックや外周…

種類を検査部で撮像した画像から自動的に検出する自動外観検査装置です。エッジグリップハンドによりウェハ中央部に接触することなく搬送します。欠陥検出はウェハの表裏画面が対象。自動搬送ユニットが検査部XYステージにウェハを搬送し、全面を撮像した後、表裏を反転させ、再度全面撮像します。 【自動外観検査装置の特長】 ■8インチウェハ対応 ■検出した欠陥はウェハマップにその位置を表示 ■任意の操作...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

測定・検査装置　【機械加工・実績例】

機械部品設計・製造に関して新規開発や協力工場探しでお困りの方は、睦工業…

■□■機械加工部品の最終製品例■□■ ■測定・検査装置 ・ネジ検査装置 ・XYステージ ・測定器スタンド 〜こんな場合はご連絡下さい！〜 ・設計から組立、完成品まで一貫で製造してほしい ・安定した品質でできるだけ短納期に製造してほしい ・図面から立ち上げてほ...

メーカー・取り扱い企業： 睦工業株式会社

【外観検査自動化導入事例】基板上状態確認検査システム

2軸に稼働する汎用ステージを利用し、基板上全体の確認を行うことができま…

リードフレームの「充填不良」等、必要な検査について「目視検査」から 「カメラを使用した自動検査」に切り替えませんか？ 汎用のXYステージ移動装置に検査システムを取付け、検査装置として運用する 「iVisionロボ」の実用例についてご紹介いたします。 「iVisionロボ」は様々な用途に用いることができ、この事例では 基...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エーディーディー

【外観検査自動化導入事例】金属板穴寸法検査システム

2軸に稼働する汎用ステージを利用し、金属板に開けた穴の位置、大きさの検…

金属板の「穴位置」「穴寸法」「穴バリ、欠け」等、必要な検査について 「目視検査」から「カメラを使用した自動検査」に切り替えませんか？ 汎用のXYステージ移動装置に検査システムを取付け、検査装置として運用する 「iVisionロボ」の実用例についてご紹介いたします。 「iVisionロボ」は様々な用途に用いることができ、この事例では 鋼...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エーディーディー

マクロミクロレビュー検査装置

ウェハ外観を目視と顕微鏡によって観察する8インチウェハ対応の装置をご紹…

す。 エッジグリップハンドによりウェハ中央部に接触することなく搬送、 観察することができます。 マクロユニットでは、ウェハの表裏面を任意の角度で観察可能。 ミクロユニットでは電動XYステージがあらかじめ登録した座標に移動するので、 トリガーボタン一つで複数の指定座標を連続で観察できます。 【特長】 ■8インチウェハ対応 ■エッジグリップハンドによりウェハ中央部に接触する...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社