エアベアリング ステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

高精度自動ステージ『PA180S シリーズ (カバー付)』

最大2,200mmのロングストロークへ！大型・重量物にも対応します

『PA180S シリーズ (カバー付)』は、リニアスライドガイドを用いた 高精度・高剛性・高耐荷重タイプのステッピングモータステージです。 精密ボールねじにより大型・重量物の長距離・高速移動が可能。 最大2,200mmのロングストロークを備えるなど、現場のニーズに幅広くお応えします。 【特長】 ■高精度位置決め ■高剛性・高耐荷重 ■ユーザビリティ ■異物侵入防止・安全性向...

メーカー・取り扱い企業： コムス株式会社 神奈川営業所