エアベアリング ステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

ファイメス社　超ロングストローク・ピエゾステージ

超ロングストロークピエゾステージ1軸（組み合わせ次第で多軸可能）

ｍａｇｕｎｅｔｉｃオプション可。クリーンルーム納品仕様可。また、MT84は、高真空対応、クリーンルーム仕様納品ができ非磁性オプションが可能です。さらにMT105は、アダプタープレートを使用せずにXYステージ組立ができ、取付金具でZ方向も組立可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 翔栄システム株式会社

ファイメス社　アパチャー付き　ＸＹステージ

ロングストローク、しかも高分解能（5nm,更に高分解能も特注で可）

アパチャー付き　ＸＹステージのKDT105は、機械的及び電気的変更のカスタム対応が可能です。高真空対応やクリーンルーム仕様納品も可能。また、非磁性オプションが可能で、可動範囲設定リミットスイッチ付です。XYZ-３軸ステージはMP 84-LMとなります。Ｎｏｎ－ｍａｇｕｎｅｔｉｃオプションも可能です。また、KDT180-LMは、モータ数は1軸につき1個です。オプションで2個まで対応可能です。 詳し...

メーカー・取り扱い企業： 翔栄システム株式会社

クイーンズゲイト製品（ピエゾ）総合カタログ

サブナノメータの分解能をはじめ、高い精度が必要となるご用途に好適！

当カタログは様々なナノポジショニング製品・システムを開発・販売しているクイーンズゲイト社の製品について紹介しています。 ピエゾ駆動のZステージやXYステージ、静電容量センサー、ピエゾアクチュエータ等、取り扱い製品例を掲載。これら製品の持つ性能・仕様も、グラフと共に説明しています。 サブナノメータの分解能をはじめ、高い精度が必要となるご用途に好...

メーカー・取り扱い企業： プライアー・サイエンティフィック株式会社

接触形直線変位センサ　LP-FPシリーズ　LP-30FQJ

コンダクティブプラスティックポテンショメータの直線変位小型モデルです。

機器、アミューズメント 【主なアプリケーション】 地盤変位計、筋肉硬度計、包装機械、電子顕微鏡、アミューズメントロボット 【使用例】 測定/地盤変位量・硬度、制御/シリンダーストローク・XYステージ位置・シリンダーストローク 詳しくはカタログをダウンロードまたはお問合せ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社緑測器 東京営業所

オカノ電機（株）　LED外観検査装置

NGチップを高速排除もしくはバットマーキングが可能です。

マガジンから供給されたリング上のウエハチップを XYθステージにセットし、ラインカメラにてマッピングデータを作成後、高解像度エリアカメラにて複数チップを同時検査する装置です。...【特徴】 ○複数チップを同時検査が可能 ○カラー空間にて良品範囲を指定することで詳細設定が可能 ○品種切り替えはソフトで対応可能 ○ＮＧ品は排除もしくはバットマーキングが可能 ○ＭＡＰファイル入力可能（検査結...

メーカー・取り扱い企業： オカノ電機株式会社

薄型ピエゾステージ　「ML-20XYL」

XY軸の薄型ピエゾステージです。

一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現しており真直性に優れます。 詳しくはカタログをダウンロードしてください。...○薄型：6mm ○透過窓：□15mm ○各種顕微鏡 ○XY高速スキャニング試験装置 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メステック