エアベアリング ステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

高精度ステッピングモータ XY軸ステージ『PTシリーズ』

顕微鏡搭載・低床スペースの装置組込に好適！透過照明にも対応できるXY軸…

『PTシリーズ』は、顕微鏡搭載・低床スペースの装置組込に適した 高精度・超薄型タイプの顕微鏡用XYステージです。 各社顕微鏡への搭載が可能で、透過照明にも対応できます。 またポジションコントローラCP-500、アナログジョイスティックCP-5Jを用いて、 拡大観察に関連する幅広い用途に...

メーカー・取り扱い企業： コムス株式会社 神奈川営業所

『超小型ピエゾステージ』

重さ6gの超小型！使い勝手の良いドライバーも用途に合わせ各種ご用意！

『超小型ピエゾステージ』は、オーテックスが取り扱う MECHONICS社の製品です。 わずか15mm角、厚さ7mm、ストローク3mm、重さ6gから 50mmストロークまでの多種類X、XY、XYZステージを揃えています。 メコニクスの新製品マルチアクチュエーターを組み込んだ10mm ストロークステージはNOVAコントローラーを使用することで 16Nというブロッキングフォースが得ら...

メーカー・取り扱い企業： オーテックス株式会社