エアベアリング ステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

簡易型UVナノインプリント装置ImpFlex Essential

高微細化、低コスト、高スループットのナノインプリントリソグラフィー

【仕様概要】 ○対応ウェハーサイズ：最大¢6インチ ○インプリント加重：最大1000N ○モールドサイズ：ロ10mm～90mm ○インプリントシーケンス：ステップ＆リピート ○XYステージ：手動スライド式 ○アライメント顕微鏡：オプション ○UV硬化樹脂：大気中スピンコータにて塗布 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノテック