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44件 - メーカー・取り扱い企業
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6件 - カタログ
138件
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PRエアステージLBTシリーズ
エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...
メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社
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電動アクチュエータを同一平面上に配置した超薄型ステージ ～ …
超薄型XYθ（アライメント）ステージ「NAF3シリーズ」は、電動アクチュエータを同一平面上に配置した超薄型ステージであり、装置全体の低重心が実現可能です。 スライド部分には中間プレートを上下2枚のプレートで挟み込む「予圧型ダブルスライド」構造を採用。 各プレートの間に多数のボールが配置され、スムーズな平面転がり運動を可能にしています。 【特長】 ○超薄型構造・低重心 ⇒３軸...
メーカー・取り扱い企業： ヒーハイスト株式会社 本社・埼玉工場
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1nmフィードバックステージ FS-1020UPX / XY
【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりま…
光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能で位置決めが可能です。 ストロークは『 20mm 』と長く、搬送と精密位置決めが1台でできます。 ナノメートルオーダーの波長を扱うような研究分野で利用されています。...最小分解能：1nm 最大移動速度：5mm/sec（FC-911使用時） ストローク：20mm テーブルサイズ：□60mm 内蔵スケール：ク...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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パレットに並んだ部品をマーカーやプリンタを使ってマーキングしたい。
【ニーズ】 シーケンサーを使ってマーカー・プリンタとXYステージを連動させるプログラムを組んでいますが、多品種少量生産のため部品の種類が変わると頻繁にプログラムを変更しなければならない。 【改善事例】 マーカー・プリンタとXYステージを連動させて、各...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ファインシス
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ステージ中央にφ100mmの透過穴（開口）を追加したステージ
特注ステージ例の透過穴がテーブル部に空いているステージです。 テーブルサイズ、透過穴のサイズやストロークは変更が可能です。 内蔵のリニアスケールを用いたフィードバック制御による高い再現性が 実現できます。...○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、リニアスケール内蔵 ○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能 ○分解能：5nm / 10nm / 50nm ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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マイクロスコープで大きなワークを観察したい。
マイクロスコープに付属している標準ステージでは小さいため、大型のワークを観察ができない。 観察するためにワークを小さく切断したり、準備に無駄な時間をかけていた。 【改善事例】 門形XYステージ（移動量200mm）をご用意しました。X軸にマイクロスコープを固定し、Y軸にワークをセットすればワーク全体を観察できます。 ステージの移動範囲はご相談ください。 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ファインシス
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顕微鏡用XY自動ステージ 【改善事例 繰り返し作業の手間】
る場合「画像保存→隣の視野エリアに移動→画像保存→・・・」と何度も繰り返し、手間と時間がかかっていました。 【改善提案】 キャプチャートリガーの信号によって画像保存するCCDカメラとXYステージを連動させることで、ワーク全体の画像を自動取得できます。 画像取得のためのI/O制御プログラムも簡単に作れます。手間のかかる作業から解放され、生産性を改善します。（CCDカメラには画像保存...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ファインシス
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顕微鏡用 XY自動ステージ 【改善事例 既存顕微鏡のバージョンアップ】
現在のマイクロスコープを使って、外観検査システムを作りたい。
leMatri はマップ上でステージの位置、良否判定結果の入力を管理できるので、検査効率を改善できます。 コントローラー（ソフトウェア含む）のみを提供することもできるので、他社製または自作XYステージと組み合わせることも可能です。システム設計の自由度が上がり、ソフト開発の手間を省けます。 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ファインシス
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顕微鏡用XY自動ステージ 【改善事例 不良箇所のNGマーキング】
顕微鏡用XY自動ステージ 【改善事例 不良箇所のNGマーキング】
【ニーズ】 前工程の検査で良否判定したパレットに並んだ部品のうち、不良部品だけにディスペンサーでNGマークを付けたい。 【改善事例】 ディスペンサーとXYステージを連動させて、マップで指定した箇所のみ移動させNGマーキングします。 測定器の測定開始出力、終了入力のI/O制御プログラムも簡単に作れます。 測定対象、測定ピッチが変わっても、マップ形状...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ファインシス
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【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持…
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 50nm 』または『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 200mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 スローダウンセンサを搭載しており、ストローク...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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コンパクトで高精度！筐体にアルミを使用し軽量化
『クロスローラガイド』は本体材質にアルミを用い、軽量・コンパクト・高精度 な自動ステージです。 V溝レールとクロスローラによる線接触の為、高い剛性が得られます。 作動すべりがほとんどなく、低摩擦で微小送りにも適しています。 「KXCシリーズ」はセンサがステージ筐体に埋め込まれている為、 テーブル面からのでっぱりが少なく左右勝手を気にせずご使用いただけます。 「KXシリーズ」...
メーカー・取り扱い企業： 駿河精機株式会社
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スライドガイド採用！低価格で高品質を実現しました
『KXSシリーズ』は、スライドガイドを採用し低価格を実現した 自動ステージです。 スライドガイドの採用で、ロングストロークを実現しています。 精密加工技術を生かした内製のボールねじ、スライドガイドを採用しました。 機構部品内製化により高品質で、センサを本体内部に配置することにより、 ステージ側面の突出もなくコンパクトな構造です。 【特長】 ■ロングストローク ■低価格 ...
メーカー・取り扱い企業： 駿河精機株式会社
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案内ガイド一体構造で薄型を実現！豊富なバリエーションをご用意
『PGシリーズ』はX軸リニアボールガイド「PG413」や「PG513」など 案内ガイド一体構造で薄型を実現した自動ステージです。 テーブルサイズ、センサオプションなど豊富なバリエーションを ご用意しています。 使用条件に応じて最適な機構の製品、ご使用方法をご案内いたしますので お気軽にご相談ください。 【モータオプション】 ■標準モータ ■高トルク ■高分解能 ■電...
メーカー・取り扱い企業： 駿河精機株式会社
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いま、顕微鏡で何番目の素子を見ているか分からなくなった・・・
【問題点】 ウェハや電子部品など整然と並んだ素子を顕微鏡で検査していると、不良箇所を見つけてもそれが何番目の素子か分からなくなることが良くある。 【改善事例】 マップソフト TeleMatri はマップ上でステージの位置を管理できるので、現在検査している場所を間違えることがなくなります。 不良箇所にはマップ上にカラーマーキングしてあとでレポート出力すれば、結果を間違えることなく作業効率...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ファインシス
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顕微鏡・検査機器用、超精密加工機用、微小力計測、精密変位計測などに最適
顕微鏡・検査機器用、超精密加工機用、微小力計測、精密変位計測などの用途に最適なTHKプレシジョンの「精密機器」ガイドです。 弾性ヒンジガイドと圧電アクチュエータによる超高分解能ステージ「顕微鏡用ナノサーボステージ」 SIDMアクチュエータ採用の高精度位置決めステージ「顕微鏡用ナノステップスライダ」 超精密切削におけるナノ・マイクロ加工や加工力測定に最適なツール「精密金型加工用ステージ・センサ」 ...
メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社
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光学実験等に利用される各種ホルダー・ステージ・取付部品ベース・その他光…
ツクモ工学株式会社が取扱う、総合カタログのご紹介です。光学機器に利用される各種ホルダ・ステージ・取付部品ベース・その他光学部品を掲載しております。カタログ以外での加工対応、特別仕様のご相談も承っております。●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...【掲載製品】 ○新製品 ○ミラーホルダ ○レンズホルダ ○ファイバホルダ ○レーザホルダ ○偏光子ホルダ ○虹彩絞り...
メーカー・取り扱い企業： ツクモ工学株式会社 本社工場
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オリジナル電動レボルバを採用！既成アクチュエータを用いずフレームと一体…
社が製作した「両面顕微鏡測定用ユニット」をご紹介いたします。 オリジナル電動レボルバを採用。上下対物レンズの軸を高精度に 合わせることができます。 また、高速駆動可能な薄型フラットXYステージに高精度θ回転を 組み込んだオートステージとなっております。 【特長】 ■ワーク表裏面のパターンズレ測定 （サイズ：W500×D780×H700） ■オリジナル電動レボルバを採用...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェルテック
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小型ながら3軸変位拡大機構を内蔵
変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで高精度な位置決めができます。ご用途に合わせた形状カスタマイズ等にも迅速に対応可能です...○ナノメートルの高分解能動作 ○3軸ロングストローク ○ローコスト ○XY軸、XYZ軸タイプを取り揃え ○一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現 ○高精度な位置決め可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウン...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社メステック
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真空中で使用可能！リニアエンコーダ内蔵でサブミクロン分解能の位置決めス…
内蔵の光学式リニアエンコーダでステージの位置を検出してフルクローズドループ制御を行っているため高分解能、位置再現性に優れています。 アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。 100mmの範囲を動作可能でその分解能はコントローラによって 「50nm」または「100nm」になります。 ...最小分解能：50nm（FC-411使用時） ：100nm（FC-...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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1/2軸対応モーションコントロールユニット
用 ●パラレル入出力を利用し、PLCや各種SW等で制御可能 各軸64ポジションデータをプログラム可能 ●様々な制御に対応する5種類の動作モード ●ステップ選択で原点サーチも簡単設定 ●XYステージ動作に便利なジョイスティック信号入力対応...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノドライブ
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高精度・高剛性・薄型・低価格モデルです
XY軸リニアボールガイド（SS）ステージはガイドと本体が一体の薄型構造。本体材質をステンレスに、ガイド部にゴシックアーク溝を採用し高強度・高精度を実現させたステージです。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。 ...【特徴】 ○ガイドと本体が一体の薄型構造 ○本体材質：ステンレス ○ガイド部にゴシックアーク溝を採用 ○高強度・高精度を実現 ○黒色タイプもあります ...
メーカー・取り扱い企業： 駿河精機株式会社
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【精密位置決め装置】10nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後…
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、 位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-511との組み...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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1nmフィードバックステージ FS-1050UPX / XY
【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりま…
光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能でクローズドループ制御が可能な精密位置決めステージです。 ストロークは『 50mm 』と長く、移動と精密位置決めが1台でできます。 フィードバックステージコントローラ『 FC-911 』と組み合わせて使用すると移動速度5mm/secで動作させることができます。...最小分解能：1nm 最大移動速度：5mm...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【精密位置決め装置】5nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の…
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-611との組み合わせ.....
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【ストローク40mm】10nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置保持…
光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、分解能、位置決め再現性、位置保持性が優れております。 フィードバックステージコントローラ FC-511と組み合わせることでエンコーダの読み取り値の『10nm』分解能で『40mm』ストロークで動作させることができます。...最...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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1nmフィードバックステージ FS-1020SPX(MD)/XY
【精密位置決め装置】1nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の…
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 1nm 』分解能(*1)でストロークは『 20mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 高トルクタイプはFS-1020SPX(MD) 高速度タイプはFS-10...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【10nm分解能】フィードバック制御により位置の分解能・再現性・保持性…
光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 エンコーダの位置情報をもとにフィードバック制御を行い、高分解能・高い位置再現性・高い位置保持性を持っています。 フィードバックステージコントローラ FC-511と組み合わせて使用することでストローク『 20mm 』間を『 10nm 』分解能で動作します。 ...最小分解能：10nm 最大移...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【エンコーダ内蔵】10nm分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置…
光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して位置検出誤差を少なくし、コントローラへ位置情報をフィードバックすることで高い分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 100mm 』となっております。 動作範囲が長いため移動と位置決めがこのステージ1台で行えます。 (*1)フィードバックステージコントローラF...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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1nmフィードバックステージ FS-1050SPX(MD)/XY
【精密位置決め装置】1nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の…
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 1nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 高トルクタイプはFS-1050SPX(MD) 高速度タイプはFS-10...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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1nmフィードバックステージ FS-1040SPX(MD)/XY
【精密位置決め装置】1nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の…
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 1nm 』分解能(*1)でストロークは『 40mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 高トルクタイプはFS-1040SPX(MD) 高速度タイプはFS-10...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【精密位置決め装置】リニアエンコーダを内蔵し、5nm分解能で動作する位…
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 40mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路によりフルクローズドループ制御を行っているため、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【エンコーダ内蔵】分解能・位置決め再現性・位置保持性が高い5nm分解能…
光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 20mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、 位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-611との組み...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持…
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 150mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-511との組み合わせ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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1nmフィードバックステージ FS-1040UPX / XY
【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりま…
光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能でクローズドループ制御が可能な精密位置決めステージです。 ストロークは『 40mm 』と長く、移動と精密位置決めが1台でできます。 フィードバックステージコントローラ『 FC-911 』と組み合わせて使用すると移動速度5mm/secで動作させることができます。...最小分解能：1nm 最大移動速度：5mm...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持…
光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 50nm 』又は『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。 自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラF...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【エンコーダ内蔵】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持性…
光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 自社開発したエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御を行うことで分解能・位置決め再現性・位置保持性に優れています。 フィードバックステージコントローラ FC-411と組み合わせることで『50nm』分解能で動作。 FC-111と組み合わせることで『100nm』分解能で動作します。 ストロ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持…
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 200mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 スローダウンセンサを搭載しており、ストロークエンドでの停止時の衝撃を...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【100mmストローク】ロングストロークかつ高分解能な位置決めステージ
光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 エンコーダで位置を検出してフィードバック制御を行っているため分解能・位置再現性・位置保持性に優れています。 フィードバックステージコントローラFC-411と組み合わせた場合は『50nm』、FC-111と組み合わせた場合には『100nm』分解能で動作し、 ストローク範囲は『100mm』となって...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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顕微鏡用XY自動ステージ 【改善事例 画像処理装置との連動】
パレットに並んだ部品を、画像処理装置を使って良否判定の検査をしたい
【背景】 画像処理装置をシーケンサーでプログラムを組んで検査を行っていた。多品種少量生産のため頻繁にプログラムを変更しなければならない。 【改善事例】 画像処理装置とXYステージを連動させて、不良箇所にはマップ上にカラーマーキングします。 画像処理装置の処理開始出力、良否判定入力のI/O制御プログラムも簡単に作れます。 検査対象が変わっても、マップ形状を変更するだけ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ファインシス
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【ロングストローク】エンコーダを内蔵した高分解能・高い位置再現性・高い…
光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 『 50nm 』又は『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 150mm 』となっております。 ストロークが長いため試料の移動と精密位置決めをこれ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【エンコーダ内蔵】高分解能かつストロークが長い位置決めステージ
光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 50nm 』又は『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 20mm 』となっております。 自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラF...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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コンパクトで豊富なラインナップ！用途に合わせお選びいただけます
『KXG/KXLシリーズ』は駿河精機が取り扱っている自動ステージです。 「KXGシリーズ」は従来のリニアボールガイド、クロスローラガイドステージ よりコンパクトな仕上がり。 「KXLシリーズ」は30mm～300mmまでの豊富なラインナップから 用途に合わせてお選びいただけます。 【モータオプション】 ■標準モータ ■高トルク ■高分解能 ■電磁ブレーキ付 ■αステップ ...
メーカー・取り扱い企業： 駿河精機株式会社
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【真空で使える】エンコーダ内蔵の高分解能位置決めステージ
内蔵の光学式リニアエンコーダでステージの位置を検出してフルクローズドループ制御を行っているため高分解能で位置再現性に優れています。 ステッピングモーターとボールねじを使用して駆動しているため 位置の保持性に優れています。 真空チャンバー内でアウトガスが発生しづらい部品などを使用しているため、真空チャンバー内にステージを配置することができます。 40mmの範囲を動作可能で「50n...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【真空で使える】サブミクロン分解能のフィードバックステージ
内蔵の光学式リニアエンコーダでステージのテーブルの位置を検出して、コントローラに位置情報をフィードバックしているため高分解能で位置再現性に優れています。 ステッピングモーターとボールねじを使用して駆動しているため 位置の保持性に優れています。 アウトガス対策として潤滑材、線材やモーター等を真空対応品に変更しているため、真空チャンバー内で使用可能です。 20mmの範囲を動作可能で...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【真空対応】サブミクロン分解能で動作範囲50mmの位置決めステージ
ステッピングモーターとボールねじを使用して駆動しているため 位置の保持性に優れています。 内蔵の光学式リニアエンコーダでステージの位置を検出してフルクローズドループ制御を行っているため高分解能で位置再現性に優れています。 アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。 50mmの範囲を動作可能で「50nm」または「100nm」分解能で 制御することが可能です。（コン...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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