エアベアリング ステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

卓上型マクロミクロ検査装置『SYAR120』

8インチタイコウェハ対応！透過式マッピングセンサ搭載マクロミクロ検査装…

察します。 ジョイスティックにより任意な座標制御が可能。 帯電防止塩ビカバー、各種インターロックを装備しています。 【特長】 ■アライナでセンタリングとオリフラ位置決め後に顕微鏡XYステージに供給 ■透過式マッピングセンサ搭載 ■ジョイスティックにより任意な座標制御可能 ■帯電防止塩ビカバー、各種インターロック装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社