エアベアリング ステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

常駐型ステージ制御アプリケーション『楽ポジ』

XYθ絶対座標値を与えることで楽に位置決め制御をすることができます！

『楽ポジ』は、XYθステージは基より、煩わしい演算を必要とする θXYステージおよびアライメントステージの制御を、簡単に短時間で 動作を実現するクラスライブラリです。 XYθ座標系での位置決め制御メソッドを発行するだけで、 容易にユーザアプリケーションを構築でき...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイズ

高精度リニアステージ『トゥルー・ナノ・ポジショニング』

【デモ機あり】繰り返し精度向上！ナノレベルで位置制御ができる、誤差を最…

【主な製品ラインアップ】 ■エアベアリングZステージ ■薄型中空XYステージ ■コンパクトXYZθステージ ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： オーテックス株式会社

アライメントシステム『Cuty-Aligner-Man』

各種アプリケーションにも対応！面倒な設計を解決し、そのまま簡単に手動操…

『Cuty-Aligner-Man』は、アライメント用UVW軸ステージを手動で操作する スタンドアロン-システムです。 面倒な設計を解決し、そのまま簡単に手動操作可能。操作方法は 「Joy スティック」によりXY方向の移動、「回転ノブ」によりθ方向（回転） の操作を行います。 また、オプションとしてZ軸の追加仕様も可能で、各種アプリケーションにも 対応できますのでご相談下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三明 本社、東京支店、大阪支店、神奈川営業所、山形営業所、浜松営業所、名古屋営業所、長野営業所、八戸営業所

薄型ピエゾステージ　ML-90シリーズ

XY軸・ロングストローク・薄型ピエゾステージ

薄型8ｍｍ 透過窓付 ...一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現しており真直性に優れます。変位センサー内蔵タイプはコントローラーと組合せることでの高精度なコントロールが可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メステック

ピエゾステージ　「MI-100シリーズ」

小型ながら3軸変位拡大機構を内蔵

変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで高精度な位置決めができます。ご用途に合わせた形状カスタマイズ等にも迅速に対応可能です...○ナノメートルの高分解能動作 ○3軸ロングストローク ○ローコスト ○XY軸、XYZ軸タイプを取り揃え ○一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現 ○高精度な位置決め可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メステック