エアベアリング ステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

150mm-200mm手動プローブシステム『WL-1160』

高い信頼性で正確なRF/mmW、DC、IV-CV、ハイパワー試験計測 …

【仕様（例：チャックXYステージ）】 ■ステージ移動範囲：203mmx203mm（8x8インチ） ■ステージ移動範囲（微調整）：12mmx12mm（0.5x0.5インチ）（オプション） ■移動分解能（微調整）：<1um（...

メーカー・取り扱い企業： 阪和トレーディング株式会社

半導体検査装置 PCP-102SL

XY位置補正でステージインデックス、初期設定、温度などによるコンタクト…

PCP-102SLは、通常のウェハの他に、薄層ウェハの検査を実現するために開発されたプローバです。 カセットからの自動搬送、プリアライメント、ファインアライメント、プロービング（検査）を行います。 【特長】 ■ステージインデックス、初期設定、温度などによるコンタクトの累積誤差を解消します。 ■マルチプロービング検査は、検査工程のスループットを飛躍的に向上させます。 ※詳細は資料請求して頂くかダ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プラムファイブ