エアベアリング ステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

精密自動2次元座標測定機『SMICシリーズ』

精度に対する絶対的な信頼でLCDトータルピッチ測長機として実績を蓄積！

『SMICシリーズ』は、グラナイト製石定盤、高精度セラミックエア スライダーとファイバー式レーザー干渉測長システムによる 高精度XYステージ、高平面度ガラステーブル、高性能サーマルクリーン チャンバーなど、高精度測定を実現するあらゆる技術を駆使した 精密自動2次元座標測定機です。 LCD、有機ELからフォトマスク、光コネク...

メーカー・取り扱い企業： 新東Sプレシジョン株式会社