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19件 - メーカー・取り扱い企業
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6件 - カタログ
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PRエアステージLBTシリーズ
エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...
メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社
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半導体用小型ステージから、液晶用大型ステージまで幅広い製作実績を誇りま…
当社では、数ミクロン単位の位置決めが必要な精密機器の製造工程において 必要不可欠な『精密XYステージ』を取り扱っております。 様々なご要望に応じたカスタムステージを製作。 また液晶製造装置用としては、第10世代対応ステージも 製作実績があります。ご要望の際はお気軽に、お問い合わせくだ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社モーショントラスト
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薄型XY軸ステージ（石定盤）
リニヤガイドでありながら、低重心構造の採用により 高い速度安定性と高精度位置決めを実現する、薄型XY軸ステージ 【特徴】 ○パラレル駆動をX軸、Y軸に採用することにより 上面テーブルの高さを低く抑える事が出来る為 高速運転の際、装置全体の揺れを防止し、精度アップができる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...リニヤガイドでありながら、低重心構造...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウイング
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マッピングソフトにより作業効率をアップ！顕微鏡用ＸＹ自動ステージ
顕微鏡、マイクロスコープ観察、検査用に最適化したソフトウェアを搭載しています。 ■マッピング機能 ステージの移動範囲をマップ状に表示し、移動したいセルに瞬時に移動したり、ワークをセル単位で順次送っていくインデックス送り機能があります。 拡大視野のイメージ結合に最適です。 また、観察、検査後のレポート作成をサポートするために、コメント入力、取り込んだ観察画像とのリンク、レポート出力機能な...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ファインシス
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エアステージLBTシリーズ
、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹介 標準化により低コスト、短納期を実現しております。 XYステージのラインナップもございます。...
メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社
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0.1μmの追従性を実現する『RSTアライナー』と薄型・小型の省スペー…
【RSTアライナー】 ■最大の特徴である駆動ユニットのバランスの取れた正三角形配置がアライメントに必須の超高精度な微少駆動を可能に ■リニアスケール等のフィードバックを掛けずに0.1μm±20nmの高い追従性を実現 ■ベアリングを使用していない為、大口径の透過穴が実現可能 ■ウエハサイズやワークサイズに合わせ、テーブルサイズも自在 ■貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加可能 ■高...
メーカー・取り扱い企業： 神津精機株式会社
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優れた応答性を実現、 低イナーシャ構造を採用
THKの電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ EX（XYステージ）は、従来型のようにサドルを使用しない構造のシンプルなXYステージです。操作部を極限まで軽量化し、各軸の慣性力を抑えることで、 優れた高速応答性を実現しました。 なお関連リンク先では、よ...
メーカー・取り扱い企業： ＴＨＫ株式会社
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ガントリ型 4軸ステージ
石定盤上にリニヤモータ駆動のXY軸ステージ 門型フレームにボールネジ駆動のZ軸ユニットを搭載し コンパクトに構成されたXYZステージ 【特徴】 ○Z軸に顕微鏡などの画像処理用機器を搭載し 300mmサイズまでの検査工程に最適 ○通常の4軸ユニットに比べ 高精度が必要なX-Y-θ軸の高さをリニア駆動により 低く抑えることができ、高速での移動でも テーブルの揺れが...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウイング
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高精度リニヤステージ 透過型ステージ
ワーク両面の同時検査を可能にした 中抜きタイプのXY軸ステージ 【特徴】 ○パイプ構造のフレームと一体でステージを構成 ○裏面のスペースも十分確保 ○高剛性ながら、安価 ○軽量化が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...ワーク両面の同時検査を可能にした 中抜きタイプのXY軸ステージ 【特徴】 ○パイプ構造のフレームと一体でステージを構成...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウイング
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高精度リニヤステージ 縦型5軸ステージ
縦型露光装置用に最適な5軸ステージ 【特徴】 ○XY軸に加え、Z軸、θ軸及び チィルティング機能を搭載した多軸ステージ ○マスクのアライメントに必要な機能を装備 ○縦型に配置するため、パーティクルフリーが可能 ○省スペースでの使用が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...縦型露光装置用に最適な5軸ステージ 【特徴】 ○XY軸に加え、Z...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウイング
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電動アクチュエータ A/AX （精密ステージ） [THK公式］
高精度でバリエーションが豊富 さまざまな用途に対応可能
THKの電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ A/AX（1軸/XY）は、同じストロークの従来型と比べ高さ寸法最大約27％のコンパクト化を実現しました。鉄使用とアルミ仕様とあり、用途に合わせて選定が可能です。アルミ仕様の場合は、従来型と比べて、本体質量最大約72％のダウンも実現しました。 なお関連リンク先では、より、詳細な製品説明をはじめ、製品カタログ、取扱説明書、仕様図・寸法表、２DC...
メーカー・取り扱い企業： ＴＨＫ株式会社
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マルチな高精度部品搭載に対応！高度な荷重制御が要求されるアプリケーショ…
などを取り付けたフルオート仕様に対応可能な上位モデルもあり、 弊社自社製品ですので、ご希望のカスタマイズ仕様にも柔軟に対応いたします。 【特長】 ■操作性 ジョイスティックを使用しスムーズなXYステージ操作性を実現 基本的な操作はジョイスティックで完結できる簡単操作仕様 ■荷重制御 モーターによるプログラム操作（Z軸分解能μm）とVCM制御（OP）による荷重制御で 高度な荷重制御が要求さ...
メーカー・取り扱い企業： テクノアルファ株式会社
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ナノ単位で、モールドからワークに複数回に分けて転写する装置。 つくば…
ナノインプリント本体[モールドテーブルαβ調整モールド機構 高精度XYθウエハステージ ウエハ湾曲機構及びXYステージ アライメント顕微鏡×2 恒温恒湿器 イオナイザー マスフローコントローラ×4(TFP、CTFP、窒素、ヘリウム)] UV光源 デジタルカメラ モールドサイズ：□22mm, □50...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ライズワン
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ＦＰＤのセルパネル欠陥に対し、ＩＴＯパターンをカットして修正可能。
＜PDP−ITO膜パターン修正レーザー装置＞ ■概要 PDPセルリペア装置は、点灯検査後のセルパネル欠陥に対し、ガラス越しにITOパターンをカットし、輝点を原点にし、パネルの修正を全自動にて行います。 下地の誘電体等々の材料、またパターンに影響はありません。 ■特長 １．本装置は、大型ステージに明視野顕微鏡を搭載したレーザーリペア＆レビュー装置です。 ２．ITO膜の欠陥箇所...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社清和光学製作所
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電動アクチュエータ CMX （精密ステージ） [THK公式］
画期的なモジュール構造を採用した超薄形ステージ（特許取得済）
THKの電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ CMX（アライメントステージ）は、トップテーブルサイズ1500m×1500mの大型ステージを標準化することで大型ワークに対応、サドルレスの軽薄機構により超薄型・軽量化も実現しました。 さらに中抜き構造であるため、光学式検査装置や導通テスタに採用されております。その他、FPD製造・検査装置、半導体製造装置・検査装置、スクリーン印刷機・マスク検査装...
メーカー・取り扱い企業： ＴＨＫ株式会社
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ファスフォードテクノロジ「SiPボンダ(DB830plus＋)」
高品質・高生産性を実現！更に進化した300mmウェハ対応高精度SiPボ…
ファスフォードテクノロジ「SiPボンダ(DB830plus＋)」は、SiP組立に特化した300mmウェハ対応のDB800を更に進化させた高速・高性能ダイボンダです。 中間ステージ採用による高品質・高生産性を実現し、多段積層対応の位置補正を備えたビジョンシステムを搭載しています。 積層時のパーティクル軽減のクリーン化対応により、薄ダイ・多段積層に最適なダイボンダです。 【特長】 ○高品質...
メーカー・取り扱い企業： ファスフォードテクノロジ株式会社
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さらに進化した、スピードと安定性
【特徴】 ○低振動を実現した制振制御XYステージ ○超小型無反動カットクランプ ○低イナーシャを実現した高速ボンディングヘッド ○2周波超音波振動子の搭載 ○ワイドエリアに対応 ○2色LED照明 ○複雑な品種に対応したサポート機能...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社カイジョー ODM事業部
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高剛性かつ高さをおさえて低いスペースでも対応可能
THKの電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ DX（中抜きXYステージ）は、高剛性かつ高さの低い中抜きXYステージです。各軸と案内中心と送りボールねじの駆動中心を同一高さの配置構造とすることで、 姿勢変化を少なくすることができ、高精度な位置決めが可能です。 ...
メーカー・取り扱い企業： ＴＨＫ株式会社
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ガントリ固定型ステージ（石定盤）
石定盤上にX軸ステージ 門型フレームにY軸ステージ搭載したリニヤモータステージ 【特徴】 ○XY軸を分離することにより、高精度を実現 ○650mm角サイズのワークに対応した吸着テーブルを搭載 ○大型基板の各種プロセスに最適 ○Y軸にパラレル駆動を採用 等速性1％以下が実現し低速での読み取りが可能 ○X軸にマルチキャリア駆動を採用 2ヘッド仕様が可能になりスループットが...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウイング
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