エアベアリング ステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

高性能リニアステージ『τ Linear Stage』

サーボ制御技術との融合により、制御ステージを実現！カスタムメイド対応可…

『τ Linear Stage』は、リニアサーボモータを搭載した高精度ステージです。 X/XYステージを標準ラインアップし、ダイレクトドライブモータ τDISCをθ軸として搭載したXθ/XYθステージの構築も可能。 多ヘッドステージ、XYZ軸ステージ、保護カバー付きステージなど、 お客...

メーカー・取り扱い企業： CKD日機電装株式会社

τLinear Stage カスタムメイド実例集 Ver.1.3

マシン仕様にJust-Fit！カスタムメイドリニアステージ実例を多数掲…

当資料は、進化型リニアステージ『τ Linear Stage』の カスタムメイド実例集です。 「Xステージ」をはじめ、「X2ヘッドステージ」、「XYステージ」、 「円弧型ステージ」などカスタムメイドリニアステージ実例を豊富に掲載。 CKD日機電装は、お客様のマシン仕様にジャストフィットする高品質な リニアステージをご提供いたします。ぜひ、...

メーカー・取り扱い企業： CKD日機電装株式会社

リニアサーボモータ『τ Linear』

スケールレスリニアセンサ対応が可能！用途に応じた豊富なラインアップをご…

『τ Linear』は、リニアスケールを使用せずに位置検出でき、 ロングストロークの搬送用途に好適なリニアサーボモータです。 高性能タイプの「コアレスNVAシリーズ」をはじめ、経済型スタンダード タイプの「コアレスNLDシリーズ」やワイドレンジタイプの「コアレス・ コア付きNLAシリーズ」など用途に応じた豊富なラインアップをご用意。 専用対応にて、水冷・空冷タイプが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： CKD日機電装株式会社